2024年8月10日
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王向谦
作品数:
34
被引量:1
H指数:1
供职机构:
甘肃省科学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
宋玉哲
甘肃省科学院
刘斌
甘肃省科学院
高晓平
甘肃省科学院
韩根亮
甘肃省科学院
卢启海
甘肃省科学院
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作者
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王向谦
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2020
2篇
2017
1篇
2016
2篇
2013
1篇
2012
共
34
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一种半导体光刻工艺
本发明公开了一种半导体光刻工艺,涉及半导体制造技术领域,该半导体光刻工艺包括以下步骤:步骤一:衬底的准备;步骤二:涂抹光刻胶;步骤三:软烘干处理;步骤四:曝光及显影;步骤五:硬烘干处理。本发明通过机械清洁的方式能够进行微...
刘斌
王向谦
谢明玲
谭稀
宋玉哲
一种γ′-Fe<Sub>4</Sub>N磁性多孔膜的制备方法及其应用
本发明公开了一种γ′‑Fe<Sub>4</Sub>N磁性多孔膜的制备方法,包括:步骤1,将硅基片表面进行清洗,干燥,得到预处理后的硅基片;步骤2,将所述与处理后的硅基片进行磁控溅射镀膜,所述磁控溅射镀膜采用Fe靶材,以氮...
卢启海
韩根亮
宋玉哲
王向谦
谢明玲
文献传递
一种利用h线激光直写机进行i线SU8系列光刻胶曝光的方法
本发明公开了一种利用h线激光直写机进行i线SU8系列光刻胶曝光的方法,属于半导体领域。包括如下步骤:在覆盖有功能层的衬底上涂覆SU8系列光刻胶,所述光刻胶完整覆盖整个功能层表面;对涂覆有SU8系列光刻胶的样品进行曝光前烘...
谭稀
史鑫
强进
高晓平
卢启海
王向谦
宋玉哲
韩根亮
文献传递
一种用于原子层沉积设备的前驱体输运管路结构
本实用新型公开了一种用于原子层沉积设备的前驱体输运管路结构,包括两路常温输运管路和两路热输运管路,两路常温输运管路分别为第一管路和第二管路,两路热输运管路分别为第三管路和第四管路;四路输运管路并联进入反应腔,其特征在于:...
谢明玲
王向谦
员朝鑫
何开宙
强进
刘斌
李钰瑛
张广安
一种低维层状二硫化钼薄膜材料及其制备方法
本发明提供了一种低维层状二硫化钼薄膜材料及其制备方法,其制备方法包括以下步骤:S1:在预处理后的衬底上通过磁控溅射沉积金属钼,得沉积有金属钼薄膜的衬底;S2:将步骤S1所得沉积有金属钼薄膜的衬底在真空管式炉退火系统中硫化...
谢明玲
王向谦
宋玉哲
何开宙
员朝鑫
谭稀
一种提高人工反铁磁耦合场的大小和热稳定性的结构及其加工方法
本发明公开了一种提高人工反铁磁耦合场的大小和热稳定性的结构及其加工方法,属于信息技术和自旋电子学领域,目的在于提高人工反铁磁的反铁磁耦合场的大小和热稳定性。人工反铁磁的结构由下向上分别为:基底/缓冲层/种子层/下磁性层/...
何开宙
王向谦
员朝鑫
谢明玲
强进
一种匀胶晶圆对准装置
本实用新型公开了一种匀胶晶圆对准装置,所述对准装置包括矩形板状的第一载台,第一载台的前端设有半圆形的豁口,半圆形的豁口贯穿第一载台顶面和底面,半圆形豁口形成第一导向槽,第一导向槽的内壁用于咬颌连接匀胶机大转动吸盘外部;第...
员朝鑫
谢明玲
强进
王向谦
刘斌
何开宙
一种改善柔性人工反铁磁薄膜应力的结构及其制备方法
本发明公开了一种改善柔性人工反铁磁薄膜应力的结构及其制备方法,涉及自旋电子与柔性集成技术领域。柔性人工反铁磁的结构由下向上分别为:聚酰亚胺柔性基底、楔形缓冲层、种子层、下磁性层、非磁性层、上磁性层和保护层。聚酰亚胺柔性基...
何开宙
王向谦
谢明玲
员朝鑫
强进
高晓平
一种CMOS工艺兼容的接口芯片掉电保护电路及方法
本发明公开了一种CMOS工艺兼容的接口芯片掉电保护电路及方法,电路包括电源芯片保护子电路和衬底电位生成子电路;本发明的CMOS工艺兼容的接口芯片掉电保护电路不要求工艺具有特殊器件,在标准CMOS工艺下即可实现,且电路结构...
高晓平
谢明玲
王向谦
员朝鑫
韩根亮
文献传递
CoFe/NiFe复合自由层对自旋阀磁电阻变化率的影响
2024年
研究CoFe/NiFe复合自由层对自旋阀磁电阻变化率的影响。在实验中通过固定溅射功率、时间和气流,调节靶基距(TSD)得到不同厚度及均匀性的复合自由层CoFe/NiFe薄膜,进而达到优化自旋阀结构提高其磁电阻率的目的。实验结果表明:在TSD分别为8.382 cm、8.890 cm时,制备的CoFe和NiFe单层膜性能最优,电阻标准偏差分别为1.33%、0.98%。通过磁性能综合测试平台对优化后的CoFe/NiFe复合自由层的自旋阀结构进行了测试,磁电阻变化率(MR)较优化前提高了约0.84%。该研究可为高性能自旋阀结构的制备提供参考。
刘斌
王向谦
李钰瑛
卢启海
谢明玲
关键词:
自旋阀
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