王锐
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：南开大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 啁啾飞秒激光脉冲在ZK7玻璃中成丝传输的物理特性
- 2008年
- 采用具有不同初始负啁啾量的飞秒激光脉冲,研究了其在ZK7玻璃中非线性成丝传输的物理特性.实验表明激光成丝的阈值功率随着脉冲初始啁啾量的增大而升高,但啁啾导致的光学细丝长度将逐渐变长.通过光丝超连续谱的测量与分析,发现了啁啾激光成丝过程中等离子体的非线性作用随着初始啁啾量的增大而减弱,并在较长空间距离内形成了非电离特性占主导的光学成丝的新现象.另外,实验观察到了啁啾脉冲激光成丝过程中的多光丝干涉图像,理论分析和讨论了非电离光学成丝的物理机制.这些研究结果表明初始啁啾量对于超短激光脉冲成丝过程将起到至关重要的作用.
- 杨建军杨阳王锐韩伟
- 关键词：超连续谱
- 飞秒激光在空气和水中对硅片烧蚀加工的实验研究被引量：6
- 2009年
- 采用1kHz,800nm,50fs—24ps的钛宝石激光脉冲对单晶硅样品在空气和水溶液环境中的烧蚀加工特性进行了研究.实验观察到了超短脉冲激光在空气氛围中烧蚀形成的双层环状结构,分析揭示了加工区域中心和边缘的烧蚀物理机制分别为热熔化和库仑爆炸,并测量了双层环状结构半径随入射激光能量、脉冲数及持续时间等的变化关系,结果表明获取较大深-宽比的加工效果需选择小能量脉冲激光的多次作用.在水溶液环境中,实验发现飞秒激光在样品表面诱导产生了亚微米量级的多孔状结构,而皮秒激光则更容易实现对硅表面的非热性去除.这是由于激光诱导的光机械应力和空泡效应随脉冲宽度变大而增强所致,在实验上确立了区分这两种不同加工状态的临界脉冲宽度.
- 王锐杨建军梁春永王洪水韩伟杨阳
- 关键词：飞秒激光硅片激光加工
