盛秀丽
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>
- 基于PVDF振动梁的扫描探针测量与定位系统研究
- 随着微半导体器件、纳米器件等领域的发展,对精密测量和定位技术的要求越来越高。因此,纳米测量和定位技术成为精密工程领域的研究热点之一。文中提出了一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜振动梁的扫描探针测量和定位系统。
文中...
- 盛秀丽
- 关键词：扫描探针显微镜
- 文献传递
- 基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统
- 2012年
- 采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力。所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统。介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性。
- 魏晋鹏黄强先张昔峰盛秀丽
- 关键词：定位控制扫描探针显微镜
- 基于VC++的SPM系统中PVDF振动梁谐振频率扫描
- 2011年
- 为了快速、准确地得到扫描探针显微镜系统(SPM)中PVDF薄膜振动梁的谐振频率,基于VC++环境,提出了一种以TFG2006G型DDS函数信号发生器为被控源的自动完成频率扫描的方法。首先,根据PVDF薄膜的压电效应介绍了其在SPM系统中的工作特性。其次,以信号发生器为被控激励源给出了扫频程序的功能及实现模式。最后,给出频率扫描实验结果。实验表明这种方法达到了快速、准确扫频的目的。
- 盛秀丽黄强先石楠余惠娟魏晋鹏
- 关键词：VC++
