胡强
- 作品数:30 被引量:9H指数:2
- 供职机构:四川大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学化学工程一般工业技术更多>>
- 用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置
- 一种用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置,包括:一筒体;一水冷匀气板,该水冷匀气板制作在筒体内;一上盖板,该上盖板固定在筒体上,该上盖板与水冷匀气板之间形成一进气腔室;一气体隔离装置,该气体隔离装置固定在上盖板上...
- 冉军学胡强胡国新梁勇熊衍凯王军喜曾一平李晋闽
- 文献传递
- 坩埚表面辐射率对分子束源炉温度场的影响
- 2023年
- 坩埚表面辐射率是影响坩埚性能的关键因素,直接决定了分子束外延的成膜质量,而错误的选型设计会降低坩埚性能。对分子束源炉内部复杂热场开展了机理研究和数值仿真计算,获得了坩埚表面辐射率对分子束源炉温度场的影响规律。研究发现降低坩埚表面辐射率可减少向外辐射热量,提高保温效果。采用ANSYS仿真分析源炉坩埚内部的温度场,发现坩埚埚口区域温度随着发射率的增加而降低:当发射率从0.05增加到0.95时,坩埚埚口区域温度最高降低90℃,验证了机理分析的结果。通过防氧化处理、精细抛光和表面喷涂特种涂料等处理方式降低坩埚材料表面粗糙度,能够降低坩埚表面辐射率。
- 黄星星吴进祝经明王凤双侯少毅卫红李嘉锋胡强
- 关键词:分子束外延温度场
- 用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头
- 一种用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头,包括:一混气室,该混气室为一桶状,在混气室的上面或侧面连通有多个进气通道;一冷却匀气喷头,固接于混气室的下面。其中冷却匀气喷头包括:一上盖板、一下盖板和侧壁,该上盖板、一下...
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- 一种双加热气相外延生长系统
- 本发明公开了一种双加热氢化物气相外延生长系统(HVPE),包括:水平或竖直放置的外延生长室;双加热装置,其包括外加热器和内加热器;样品台,其上放置样品;金属源反应物放置器,其内部放置有金属源;喷淋器,其位于所述样品台正上...
- 胡强魏同波羊建坤霍自强王军喜曾一平李晋闽
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- 自支撑GaN厚膜的制备及其光学性能的研究
- 采用金属Ti插入层在氧化物外延设备中制备了高质量自支撑GaN厚膜。金属Ti插入层有助于晶体质量的提高,X射线衍射测量发现(0002)峰摇摆曲线的半高宽只有260 arcsec。扫描电子显微镜测量显示,腐蚀后的自支撑GaN...
- 胡强魏同波段瑞飞羊建坤霍自强曾一平
- 关键词:氢化物气相外延光学性能位错密度
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- 在蓝宝石图形衬底上制备无应力GaN厚膜的方法
- 一种在蓝宝石图形衬底上制备无应力GaN厚膜的方法,包括以下步骤:步骤1:在C面蓝宝石衬底上淀积一层二氧化硅或氮化硅膜;步骤2:利用常规光刻技术在淀积二氧化硅或氮化硅膜的C面蓝宝石衬底上光刻出沿着[11-20]方向的条形二...
- 胡强段瑞飞魏同波杨建坤霍自强曾一平
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- 用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置
- 一种用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置,包括:一筒体;一水冷匀气板,该水冷匀气板制作在筒体内;一上盖板,该上盖板固定在筒体上,该上盖板与水冷匀气板之间形成一进气腔室;一气体隔离装置,该气体隔离装置固定在上盖板上...
- 冉军学胡强胡国新梁勇熊衍凯王军喜曾一平李晋闽
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- 一种蜂箱式光反应发生器
- 本发明涉及一种蜂箱式光反应发生器,属于生物制氧技术领域,解决现目前光反应装置中制氧生物制氧的效率低的技术问题。该蜂箱式光反应发生器包括盒体、发酵板以及照明件,盒体具有培养空间盒体任意相对的两个面上开设有与培养空间相连通的...
- 周加境丁宁穆维天胡强
- MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置
- 一种MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置,包括:一第一气体入口;一第一气体出口;一第一直通阀门的一端与第一气体入口连通,该第一直通阀门的另一端与第一气体出口连通;一第一旁通阀门的一端与第一直通阀门的一端连接;一第...
- 冉军学胡强胡国新梁勇熊衍凯王军喜曾一平李晋闽
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- 用于金属有机气相沉积设备的进气喷头
- 一种用于金属有机气相沉积设备的进气喷头,包括:多个进气管路;一上层板,该上层板为圆盘状;一外壳体,该外壳体为圆筒状,位于上层板的下面;一下层板,该下层板为圆盘状,位于外壳体的下面;气体分配管路,位于下层板上面、外壳体内部...
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