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袁光
袁光
作品数:
11
被引量:41
H指数:4
供职机构:
清华大学
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
航空宇航科学技术
交通运输工程
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合作作者
董景新
清华大学机械工程学院精密仪器与...
高钟毓
清华大学机械工程学院精密仪器与...
赵长德
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王永梁
清华大学
曹志锦
清华大学
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清华大学
作者
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袁光
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董景新
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高钟毓
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王永梁
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2篇
2004
2篇
2002
4篇
1999
2篇
1998
1篇
1996
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11
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一种体加工的叉指式微机械加速度计
该文讨论一种平面叉指式加速度计的结构设计、有限元仿真、加工工艺,着重研究了压膜阻尼的一种数学简化模型,并对叉指结构进行了数值计算。研究了摆片尺寸、极板间隙以及频率和外界环境压力对阻尼的影响。给出了在当前工艺条件下进一步优...
袁光
丁衡高
高钟毓
董景新
王永梁
关键词:
加速度计
有限元仿真
文献传递
定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构
本发明属于体硅加工微机械结构设计领域,涉及定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构,包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件,固定齿和基片,敏感质量元件的每个梳齿和其相邻的两定齿距离不等,两侧距离比值为1∶(8-1...
高钟毓
袁光
董景新
王永梁
赵长德
曹志锦
文献传递
挠性摆式微硅加速度计的模态分析
被引量:4
1998年
近年来,在很多应用中,对加速度计动态性能提出较高的要求,故在结构设计阶段必须对其进行动态力学分析,以期使摆片模态满足使用要求。有限元分析是分析复杂结构的一种较新的高精度的分析工具。本文利用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行模态分析。文中按照设计加速度计的尺寸给出仿真的振型图、各模态的谐振频率、加速度作用时模态参与因素、振动响应谱以及各模态产生的位移和应力比较等。得出该加速度计共有六种模态,而第一模态(工作模态)比其它模态作用强很多,是主要模态。
董景新
张自然
袁光
皮舜
吴晓春
关键词:
模态分析
摆式
挠性
微硅加速度计
叉指式硅微加速度计的结构设计
被引量:30
1998年
为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求,讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计,其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率,分析了其机械模型和数值解,并且用有限元方法对几种设计尺寸进行了仿真。着重研究了几个关键尺寸,如检测质量厚度和梁的宽度的改变对分辨率和固有频率的影响,并且给出了此种结构在当前条件下的所能得到的测量分辨率极限。最后,给出了两种尺寸的设计,其大小约为1.5mm×1.5mm,检测质量厚10μm和15μm,相对于当地重力加速度,分辨率分别为5×10-3和3×10-3。
袁光
丁衡高
高钟毓
董景新
关键词:
加速度计
有限元
硅微加速度计
定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构
本发明属于体硅加工微机械结构设计领域,包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件,固定齿和基片,敏感质量元件的每个梳齿和其相邻的两定齿距离不等,两侧距离比值为1∶(8-12),本发明结构最重要的优点就是键合块少...
高钟毓
袁光
董景新
王永梁
赵长德
曹志锦
文献传递
梳齿式微机械Z-轴陀螺的结构设计
以微机械加工工艺和集成电路工艺为基础的微机械硅陀螺在军民两用市场上有着广阔的前景.该论文研究了一种新型的、中等精度的、适合中国现有加工工艺、体硅溶解法的梳齿式机械陀螺.文中重点阐述了微结构的方案选型、结构参数设计.主要内...
袁光
关键词:
微机械陀螺
模态
微硅加速度计结构及线路初探
被引量:3
1996年
本文在借鉴国外资料的基础上,结合现有的加工条件,对微硅加速度计结构及线路设计作了初步的理论和实践探讨。
袁光
董景新
关键词:
微硅
差动电容
尺寸效应
军民两用技术
惯性仪表
不平衡电桥
梳齿式体硅加工微机械加速度计
一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域,其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片,电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结...
高钟毓
王永梁
董景新
张嵘
赵长德
曹志锦
袁光
马新龙
文献传递
挠性摆式微硅加速度计的有限元分析
被引量:5
1999年
】微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件,在结构设计阶段必须对其进行力学分析,以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。本文采用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行有限元分析,其中包括对未封装及封装后实体单元进行敏感轴位移、侧向位移、横向灵敏度、受力情况等分析。分析结果表明所设计的微硅加速度计符合仪表性能要求。
董景新
赵长德
张自然
皮舜
吴晓春
袁光
关键词:
加速度计
有限元
微硅加速度计
梳齿式微机械加速度计的结构设计与实验研究
袁光
关键词:
微机械加速度计
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