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袁再芳

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：四川大学材料科学与工程学院无机非金属材料系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇平整
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇四川大学

作者

  • 1篇冉均国
  • 1篇袁再芳
  • 1篇苟立
  • 1篇张欣苑

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
采用微波等离子体平整金刚石薄膜的实验研究被引量：1
2003年
金刚石薄膜的表面平整是金刚石薄膜应用于光学、电学等领域的关键。采用氧气作气源,研究了微波等离子体工艺参数如微波功率、基台位置、氧气流量对平整金刚石薄膜效果的影响。处理后的样品用SEM、AFM观察表面形貌、测试了表面粗糙度。实验表明微波等离子体工艺参数对金刚石薄膜的表面平整效果有显著影响,并且这些参数是相互关联的。在适宜的条件下,金刚石薄膜的表面粗糙度明显降低,约为处理前的一半。该法可对金刚石薄膜进行原位处理,方便有效。
苟立袁再芳冉均国张欣苑
关键词：金刚石薄膜表面粗糙度微波等离子体平整
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