赵宇飞
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 基于有限元法的硅片冰冻固结磨料抛光温度场分析被引量：2
- 2009年
- 本文分析了低温固结磨料抛光硅片的传热模型,并借助有限元软件ANSYS对热传导过程进行了仿真,获得了冰冻磨具在不同抛光时刻的温度场等温图及工作区域的融化厚度值。并且在相同工艺参数下,进行抛光实验,验证了有限元数值分析结果。分析仿真结果表明:环境温度为20℃情况下,磨削热并非是导致冰冻磨具融化的主要原因,周围空气对流换热对温度场的影响较大,磨具温升速度为先快后慢,抛光区域的融化速度比较稳定。采用此有限元模型,可以分析抛光时间、环境温度等参数对温度场的影响,为低温固结磨料抛光硅片的温度场研究提供理论指导。
- 赵宇飞左敦稳孙玉利卢文壮
- 关键词：温度场有限元法抛光
- 单晶硅片低温固结磨料抛光的温度场研究
- 化学机械抛光广泛应用于半导体材料、光学玻璃等材料的精密抛光。在低温冰冻磨具化学机械抛光中,冰冻磨具的冰体温度、融化速度对加工试样的表面性能及材料去除率方面有直接的影响。开展抛光过程中温度场的研究具有十分重要的意义。
...
- 赵宇飞
- 关键词：温度场有限元法抛光
- 文献传递
