邓光华 作品数:11 被引量:19 H指数:2 供职机构: 重庆光电技术研究所 更多>> 发文基金: 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 更多>>
长波HgCdTe红外焦平面列阵 1991年 概述了以 Hg_(1-x)Cd_xTe 体材料和双异质结构外延材料为衬底,采用平面工艺研制成两种不同结构的光伏二极管列阵与用 MOS 工艺制作的信号处理器互联而成的8×8长波红外焦平面列阵。它的响应波长已达到10μm,D~*大于2×10~9cmHz^(1/2)W^(-1),非均匀性小于50%,R_0一般大于200kΩ,个别达到1MΩ以上。 杨文宗 邓光华 刘昌林关键词:红外焦平面 256×256高帧频可见光CCD的研制 被引量:1 2004年 采用三相全帧帧转移结构和常规的CCD工艺,设计并研制了一种高速摄像用256×256元高帧频可见光CCD成像器件。器件光敏元采用MOS结构,尺寸为10μm×10μm,4信号抽头输出,占空比100%。测试结果表明,器件工作波长为0.4~1.1μm,光灵敏度为0.05lx(峰值波长处,积分时间40ms),帧速为500帧/秒,动态范围大于等于54dB,响应非均匀性小于等于2%。 邓光华 周旭东 张坤 钟四成关键词:CCD图像传感器 高帧频 动态范围 8×4元TDI光导型HgCdTe红外焦平面组件的研制 被引量:1 2004年 介绍了8×4元时间延迟积分(TDI)光导型HgCdTe红外焦平面的工作原理,给出了组件结构、读出电路的电气结构图、时序驱动波形图。针对组件结构,阐明了组件电路的设计原则、提高动态范围的关键技术,最后讨论了组件存在的一些问题以及今后努力的方向。 彭秀华 李仁豪 邓光华 刘娅琳光刻工艺中缺陷来源的分析 被引量:12 2005年 针对半导体集成电路和器件的制作过程中,在光刻工艺过程中各种缺陷产生的种类及来源进行了基本的集中性分析,提出了一些减少或消除这些缺陷的办法和措施。 邓涛 李平 邓光华关键词:光刻 512×512元PtSi肖特基势垒IR CCD图像传感器 被引量:4 2003年 研制了隔行扫描单片式内线转移结构512×512元PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD)。器件采用最小2μm设计规则,两层多晶硅结构。器件的像元尺寸为36μm(H)×34μm(V),填充系数为40%。器件工作在80K温度下。在阵列帧频为30帧每秒及镜头为 F/1条件下,器件噪声等效温差为0.15K。用1000K黑体测得其探测率D~*为1×10^(10)cm·Hz^(1/2)/W。对器件设计及性能测试结果进行了介绍。 熊平 周旭东 邓光华 李作金 王颖 李华高 袁礼华 蒋志伟关键词:PTSI CCD 图像传感器 1024元线列PtSi肖特基势垒红外CCD 2005年 介绍了我们研制的1024元线列PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD)。器件采用最小2微米设计规则,两层多晶硅结构。器件的像元尺寸为30um×30μm。器件采用品字形排列,占空比为100%。1024位探测器存储的电荷分两路CCD到同一个浮置扩散放大器上输出。器件在80K温度下工作。在积分时间为4毫秒及镜头为F/1条件下,器件噪声等效温差为0.1K。用1000K黑体测得探测率D^*为9.8×10^*cm·Hz^1/2。·W^-1。器件响应不均匀性为4.8%。介绍器件设计及性能测试结果。 熊平 唐遵烈 邓光华 李平 易平关键词:PTSI 线列 肖特基势垒 CCD 1024元线列PtSi肖特基势垒红外CCD 介绍了我们研制的1024元线列PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD)。器件采用最小2微米设计规则,两层多晶硅结构。器件的像元尺寸为30 μm×30μm。器件采用品字形排列,占空比为100%。1024位探测器存储的电... 熊平 唐遵烈 邓光华 李平 易平关键词:PTSI 线列 肖特基势垒 CCD 文献传递 PtSi 256×256 IRCCD微型化封装技术研究 2000年 采用倒装焊接技术 ,实现了PtSi 2 56× 2 56IRCCD微型化封装。对金属凸点、引线衬底的制备以及倒装焊接技术进行了研究。 邓光华 何剑 屈伟关键词:倒装焊接 PTSI PtSi IRCCD像机对红外太阳光谱的观测 被引量:1 2000年 采用PtSi 2 56× 2 56元IRCCD器件对FeI 1.56 μm太阳光谱进行了成功观测。分析认为PtSi 2 56× 2 56元IRCCD器件及像机可满足观测的要求。对观测进行了计算机模拟 ,实际观测结果与模拟符合较好。 何剑 邓光华 曹文达 周旭东关键词:PTSI 红外 天文观测 相机 1 024元线列PtSi肖特基势垒红外CCD 本文介绍了我们研制的1024元线列PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD).器件采用最小2微米设计规则,两层多晶硅结构.器件的像元尺寸为30μm×30μm.器件采用品字形排列,占空比为100%.1024位探测器存储的... 熊平 唐遵烈 邓光华 李平 易平关键词:PTSI 线列 肖特基势垒 CCD 电荷耦合器件