陈有鹏
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
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- 掺氟二氧化锡透明导电膜的核技术分析
- 1993年
- 运用卢瑟福背散射(RBS)和二次离子质谱(SIMS)技术相结合测量了SnO_2透明导电膜的密度和膜厚,对于常压CVD法制备的SnO_2薄膜密度约为6.20g/cm^3,接近相应块状材料的密度。采用^(19)F(p,αγ)^(16)O共振核反应技术测量了用于非晶硅太阳能电池电极的大面积掺氟SnO_2(FTO)中氟的含量和深度分布以及50—180keV的^(19)F^+离子注入SnO_2膜中氟离子的射程分布参数。结果表明,FTO膜中氟元素的含量和深度分布并不是均匀的,而是在0.6×10^(20)—6.O×10^(20)/cm^3间波动;50—180keV的^(19)F^+离子注入SnO_2膜中氟离子的平均投影射程(R_P)值与理论计算结果符合得很好,而平均投影射程标准偏差(ΔR_P)值则比理论值偏大。
- 谭春雨夏曰源许炳章刘向东刘吉田陈有鹏李淑英马洪磊李金华
- 关键词：厚度氟导电薄膜二氧化锡
- SnO_2(F)、Fe_2O_3和ZnSe(Fe)薄膜厚度的测量被引量：5
- 1993年
- 用RBS技术、椭偏法和微量天平称重法测量了掺氟SnO_2(FTO)透明导电膜、掺铁ZnSe磁性半导体膜和Fe_2O_3气敏元件膜的薄膜厚度.实验结果表明,RBS技术的测量数值与椭偏法以及微量天平称重法测得的结果符合得较好。
- 谭春雨夏曰源张汝贞刘吉田刘向东许炳章李淑英陈有鹏张淑芝
- 关键词：FTO硒化锌
- 透明导电膜(FTO)中氟元素的核技术分析
- 掺氟二氧化锡膜(简称 FTO 膜)对可见光具有较高的透射率,而对红外光有很高的反射系数,并且有几乎与金属材料一样的导电性能。因而被广泛地应用于航空航天器的窗口表面薄膜、仪器的抗静电透明窗,大面积太阳能电池的电极,液晶显示...
- 谭春雨许炳章刘向东刘吉田夏曰源陈有鹏李淑英马洪磊李金华
- 关键词：FTO离子注入光电性能实验值
- 文献传递
- 玻璃透明隔热膜的制备方法及专用喷头
- 一种玻璃透明隔热膜——氧化锡薄膜的制备方法及其专用喷头。该方法采用常压化学汽相沉积工艺，在平板玻璃生产线上，利用新生玻璃的高温，以四氯化锡为源，氟里昂为渗杂剂，甲醇为辅助剂加氧气，并以纯化氮气为携带气体，将各成分气体携带...
- 陈有鹏马瑾李淑英
- 文献传递
