陈颖
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
- 2024年
- 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
- 贺龙李淑娴苗斌李加东李加东苗小浦陈颖
- 关键词：大高宽比
- 固体激光器的快速电光Q开关驱动电路的实验研究被引量：4
- 2007年
- 比较了三种不同的电光调Q驱动电路。电子管式调Q电路工作稳定,退压沿70ns左右,但空间体积大,激光脉冲能量较低;雪崩管串联式调Q电路退压时间大约为20ns,输出激光脉冲能量高,脉宽窄;MOSFET管串联调Q电路,简单可靠,单管耐压高,退压时间为50ns。
- 陈颖撒昱叶志生白云王升平高惠敏
- 关键词：电光Q开关雪崩管电子管
