韩荔
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 微硅隧道加速度变送器的优化设计被引量：6
- 2001年
- 本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器 ,其参数经有限元分析优化 ,并采用了平头隧道电极 ,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性 ,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行 。
- 龙志峰韩荔李庆祥白立芬
- 关键词：隧道加速度计变送器
- 电子隧道加速度计输出信号的分析与处理被引量：12
- 2002年
- 介绍了一种新型电子隧道加速度计的工作原理 ,详细分析了该加速度计输出信号的有效成分及噪声与干扰 ,设计了利用LabVIEW虚拟仪器开发平台的信号分析与处理程序。基于对电子隧道输出信号的分析 ,仿真了相应的模拟信号 ,并且通过对该模拟信号的软件处理 ,抑制了噪声 ,消除了工频干扰 ,将被噪声淹没的有效成分提取出来 ,从而证明了该方法的有效性。
- 韩荔龙志峰李庆祥白立芬
- 关键词：信号处理虚拟仪器信号分析
- 微硅隧道加速度变送器的优化设计
- 本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续...
- 龙志峰韩荔李庆祥白立芬
- 关键词：隧道加速度计变送器
- 文献传递
- 电子隧道加速度计及检测系统的设计与实验
- 论文阐述了电子隧道传感器的国内外现状和发展概况,分析了几种典型电子隧道传感器的结构与特点. 介绍了电子隧道加速度计的原理,建立了质量块- 弹簧- 阻尼力学模型,设计了垂直力平衡式和横向双元件式的加速度计,并分析了主要特性...
- 韩荔
- 关键词：噪声分析
