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魏启
作品数:
2
被引量:9
H指数:1
供职机构:
复旦大学现代物理研究所/核科学与技术系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
王月霞
复旦大学现代物理研究所核科学与...
李之杰
复旦大学现代物理研究所核科学与...
潘正瑛
复旦大学现代物理研究所核科学与...
刘提将
复旦大学现代物理研究所核科学与...
臧亮坤
复旦大学现代物理研究所核科学与...
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作者
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魏启
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朱靖
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臧亮坤
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刘提将
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潘正瑛
1篇
李之杰
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王月霞
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物理学报
年份
1篇
2005
1篇
2004
共
2
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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟
被引量:9
2005年
采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响 .分析表明 ,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递 ,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率 ,增加了合成薄膜的SP3键含量 .研究结果和实验观察一致 ,并从合成机理上给出了一些定量解释 .
李之杰
潘正瑛
朱靖
魏启
王月霞
臧亮坤
周亮
刘提将
关键词:
类金刚石薄膜
离子束辅助沉积
分子动力学
计算机模拟
低能碳分子与硅表面相互作用的模拟研究
该文改进了分子动力学模拟软件,用以模拟荷能碳团簇在硅表面和金刚石表面的化学吸附以及DLC薄膜的合成过程.主要目的是研究沉积团簇的初始能量对DLC薄膜性质的影响.另外,我们还用蒙特卡罗方法模拟了小碳分子在硅表面扩散的过程....
魏启
关键词:
碳分子
硅
类金刚石
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