姚海军
- 作品数:5 被引量:0H指数:0
- 供职机构:电子科技大学微电子与固体电子学院更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学一般工业技术更多>>
- 钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究
- 用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)村底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原住实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X...
- 姚海军李燕罗佳慧姜斌邓宏蒋书文
- 关键词:激光分子束外延多层膜原子力显微镜
- 文献传递
- 钙钛矿型氧化物SrTiO<,3>/BaTiO<,3>多层膜的激光分子束外延生长研究
- 用激光分子束外延技术在SrTiO<,3>(001)衬底上外延生长SrTiO<,3>/BaTiO<,3>多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的...
- 姚海军李燕罗佳慧姜斌邓宏蒋书文
- 关键词:多层膜原子力显微镜
- 文献传递
- [(BaTiO_3)_m/(SrTiO_3)_m]_n超晶格生长的RHEED实时研究
- 2005年
- 利用反射高能电子衍射(RHEED),研究了在SrTiO3(100)基片上采用激光分子束外延法生长的[(Ba-TiO3)m/(SrTiO3)m]n超晶格薄膜的生长特性。观察到清晰明亮的反射高能电子衍射花样及富有周期性的RHEED振荡曲线,制备的超晶格呈现良好的结晶层状外延生长,薄膜表面及界面的平整度很好。
- 魏雄邦姜斌李燕邓宏蒋书文张鹰姚海军
- 关键词:超晶格
- BTO/STO氧化物超晶格生长模拟及电学性能研究
- 该论文概述了超晶格广阔的应用前景,并阐述了BaTiO<,3>/SrTiO<,3>超晶格材料的特点与其研究的重要性.在试验过程中,使用激光分子束外延技术制备了不同结构的BaTiO<,3>/SrTiO<,3>超晶格薄膜,并对...
- 姚海军
- 关键词:超晶格蒙特卡罗激光分子束外延
- 文献传递
- 钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究
- 2004年
- 用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380~470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.
- 姚海军李燕罗佳慧姜斌邓宏蒋书文
- 关键词:激光分子束外延多层膜原子力显微镜