寇文兵
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
- 发文基金：国家留学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析被引量：1
- 2016年
- 通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。
- 齐虹李玉玲王晓光张岩寇文兵
- 关键词：流量传感器温度系数
- 简述半导体温度传感器设计
- 2010年
- 传感器属于信息技术的前沿尖端产品,尤其是温度传感器被广泛用于工农业生产、科学研究和生活等领域,数量高居各种传感器之首。半导体传感器是利用某些半导体的电阻随温度变化而变化的特性制成的。半导体具有很宽的温度反应特性,各种半导体的温度反应区段不同。
- 寇文兵
- 关键词：半导体温度传感器
- 试述SnO_2气体传感器设计
- 2010年
- 微电子技术的日益普及和应用,传感器已经深入到人类生活的各个领域。因此对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求。本文简要总结了SnO2气体传感器其优缺点,并对各种修饰、改善SnO2薄膜气体传感器性能的方法进行了归纳。
- 寇文兵
- 关键词：传感器
- 集成化触觉传感器阵列
- 本文介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有100个触觉单元,芯片尺寸为25mm×25mm。厚度小于10mm。在制造工艺上,把CMOS工艺和半导体平面工艺相兼容,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点...
- 田雷孙凤玲寇文兵
- 关键词：单晶硅
- 文献传递
- 用正交实验法优化多晶硅制备工艺参数被引量：5
- 2003年
- 在研制多功能集成压力传感器过程中,对关键材料多晶硅来说,制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了沉积温度、反应气体流量和反应室工作压力对多晶硅的沉积速率、晶粒大小和表面粗糙度的影响程度。设计出正交试验,以优化出不同性能要求的多晶硅制备工艺参数。
- 金建东周治平寇文兵
- 关键词：正交试验多晶硅压力传感器集成电路
- 集成化触觉阵列传感器的研制被引量：3
- 2001年
- 介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元 ,芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm ,厚度小于 10mm。在制造工艺上 ,把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体 ,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点 ,易于感受所触物体 ,其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。
- 田雷孙凤玲寇文兵
- 关键词：机器人单晶硅传感器CMOS
