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张书敏

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：苏州大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 3篇多孔薄膜
  • 3篇氧化物
  • 2篇气体传感
  • 2篇气体传感器
  • 2篇金属
  • 2篇金属氧化物
  • 2篇感器
  • 2篇掺杂
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇等离子刻蚀
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇制备及性能
  • 1篇气敏
  • 1篇气敏材料
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇金属氧化物薄...
  • 1篇刻蚀
  • 1篇孔径
  • 1篇孔径大小

机构

  • 3篇苏州大学

作者

  • 3篇张书敏
  • 2篇孙旭辉
  • 1篇张平平

年份

  • 3篇2014
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
Cu掺杂SnO_2多孔薄膜H_2S传感器的制备及性能研究
我们利用自组装软模板结合简单的物理共溅射方法,在所希望的基底上沉积良好有序的、具有高比表面积的Cu掺杂的SnO2多孔薄膜。Cu掺杂的SnO2多孔膜气体传感器显示了优异的传感性能,包括高灵敏度、选择性、重现性以及快速响应和...
张书敏孙旭辉
关键词：金属氧化物多孔薄膜
文献传递
一种多层金属氧化物多孔薄膜纳米气敏材料的制备方法
本发明公开了一种多层金属氧化物多孔薄膜纳米气敏材料的制备方法，将微球水溶液自组装在覆盖有绝缘层的基底上，形成致密的单层阵列模板，用等离子刻蚀的方法刻蚀微球的表面，减小微球的间距，然后用物理沉积的方法沉积金属氧化物薄膜，之...
孙旭辉张平平张书敏
文献传递
基于半导体金属氧化物多孔薄膜气体传感器的研究
基于金属氧化物材料的半导体气体传感器由于其不可替代的优势特点，如高灵敏度，小尺寸，成本低和简单易制造，已经开发出多种应用，如工业排放控制、居民生活、粮食安全检测、医疗诊断、易爆及有毒气体报警器和环境监测等各个领域。气体传...
张书敏
关键词：半导体金属氧化物多孔薄膜掺杂气体传感器
文献传递
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