张锦川
- 作品数：12 被引量：5H指数：1
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- 相关领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
- 退火实现蓝宝石衬底N-Al共掺ZnO薄膜的p转变
- 通过在O2气氛下高温后退火,将采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上低温生长的n型N-Al共掺ZnO薄膜转化为p型导电.Hall测量显示p型ZnO薄膜的载流子浓度为2.1×1016 cm-3,电阻率51.8...
- 于威张丽张锦川张子才刘洪飞傅广生
- 关键词：射频磁控溅射蓝宝石衬底载流子氧化锌薄膜
- 文献传递
- ZnO:Mn稀磁薄膜结构和铁磁特性分析被引量：3
- 2009年
- 采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石衬底上制备了不同Mn掺杂浓度的ZnO薄膜(ZnO∶Mn),研究了与生长相关的浅缺陷能级对薄膜磁性的作用。结果表明:所制备的ZnO∶Mn薄膜均具有高度c轴择优取向,且具有室温铁磁性。随Mn含量增加,薄膜结晶质量逐渐提高,晶粒尺寸明显增大,单位磁性离子磁矩逐渐减小。薄膜所显示出的铁磁性可归结为材料结构缺陷的本质反映。薄膜导电特性变化反映了薄膜生长过程所决定的晶粒内部和晶粒边界缺陷密度变化的竞争,与此对应,激活能的变化反映了晶粒内部费米能级位置先升高而后降低。薄膜的载流子传输在低温下满足变程跳跃电导机制,该机制和材料的铁磁性紧密相关。近邻Mn离子比例的增加将对薄膜铁磁性的减小产生贡献。
- 于威张丽张子才杨丽华滕晓云张锦川傅广生
- 关键词：室温铁磁性
- n/p型Si衬底对ZnO薄膜结构及导电类型的影响
- 采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术,分别在n型和p型Si(100)衬底上制备N-Al共掺ZnO薄膜,研究了硅衬底的导电类型对结构及导电类型的影响.Hall测量显示n型Si衬底上生长的ZnO薄膜为p型导电,p型Si衬底...
- 傅广生张丽张锦川张子才武树杰于威
- 关键词：射频磁控溅射导电类型氧化锌薄膜
- 文献传递
- ZnO：Mn稀磁薄膜杂质能级和铁磁特性分析
- 采用脉冲激光沉积(PLD)技术在蓝宝石(α-AlO)衬底上制备了过渡族金属 Mn 掺杂 ZnO 薄膜。采用 X-射线衍射、紫外-可见光学吸收和 Raman 散射技术对薄膜结构和能级特性进行了分析,研究了薄膜结构对杂质能级...
- 于威杨丽华滕晓云张锦川张子才傅广生
- 氧分压对ZnO薄膜的结构、光学特性的影响
- 本文研究了在不同O2分压下用螺旋波等离子体辅助射频溅射法在蓝宝石衬底的(0001)面上制备ZnO薄膜。通过对其结构，光学及电学性质的分析，探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响。实验结果表明，由于等离子体对反应气体的活化及...
- 于威许贺菊张丽滕晓云张锦川傅广生
- 关键词：氧分压光学特性等离子体辅助射频溅射法薄膜生长
- 文献传递
- 自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积
- 2008年
- 本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变。p型ZnO薄膜载流子浓度为1.30×1016cm-3,电阻率为99.68Ω.cm,霍尔迁移率为4 cm2.V-1.s-1。X射线衍射和原子力显微镜的分析结果显示ZnO薄膜的导电类型和薄膜的生长特征相关,等离子体中活性粒子载能的减小导致薄膜表面成核几率增加和ZnO晶粒逐渐减小。较高氧活性粒子浓度有利于自然掺杂p型ZnO薄膜生长,而活性氧粒子种类的变化使薄膜生长质量变差,施主缺陷增加,薄膜转化为n型导电。
- 于威张锦川许贺菊张丽杨丽华傅广生
- 关键词：螺旋波等离子体应力
- ZnO∶Mn稀磁薄膜光学性质和铁磁行为分析被引量：1
- 2008年
- 采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上制备了不同Mn掺杂浓度的ZnO薄膜。实验结果表明,合适浓度的Mn的掺入,有利于ZnO∶Mn薄膜(002)生长而不形成Mn的氧化物,同时,所有的薄膜均呈现出了室温铁磁特性。随着Mn含量的增加,薄膜光学带隙红移,对应的Mn离子电荷转移跃迁吸收逐渐增强,磁化强度逐渐减小。实验结果支持薄膜的铁磁性起源于替位的Mn离子之间的长程铁磁相互作用,Mn离子增加导致平均磁矩减小,可归因于邻近的Mn离子密度的增加引起的反铁磁作用增强,相对应的sp-d交换作用逐渐增加。
- 于威杨丽华滕晓云张锦川张子才傅广生
- 氧分压对Zno薄膜结构、光学和电学特性的影响被引量：1
- 2007年
- 采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al203衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜.通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响.结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该等离子体辅助溅射技术能够在合适的氧分压下制得较高质量的ZnO薄膜.
- 于威许贺菊张丽滕晓云张锦川傅广生
- 关键词：ZNO薄膜螺旋波等离子体氧分压
- 硅基p型氧化锌薄膜制备及光电子衰减特性研究
- 傅广生滕晓云耿春玲于威王春生张丽许贺菊张锦川杨丽华武树杰
- 稳定、高质量的p-ZnO薄膜的制备是ZnO材料在短波长光电器件领域获得成功应用的一个关键问题。该项目采用螺旋波等离子体辅助磁控溅射技术制备了沿c轴高度择优取向的ZnO外延薄膜；实现了p型ZnO薄膜的可控生长，获得了N、A...
- 关键词：
- 关键词：半导体薄膜材料光电器件
- N-Al共掺p型ZnO薄膜制备及形成机理研究
- 本工作采用螺旋波等离子体辅助溅射沉积系统应用非平衡生长技术在Al2O3/(001/)衬底制备了N-Al共掺的p型ZnO薄膜。分析了退火对ZnO薄膜的结构、光学及其电学特性的影响及薄膜表现为p型导电的微观机理。为获得较高载...
- 张锦川
- 关键词：化学势形成能
- 文献传递
