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曾文光

作品数：4 被引量：8H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇微机电系统
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻丝
  • 2篇翘曲
  • 2篇微机电系统技...
  • 2篇聚合物基
  • 2篇基面
  • 2篇功率
  • 2篇功率密度
  • 2篇复合结构
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇硅基

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇曾文光
  • 3篇丁桂甫
  • 2篇张丹
  • 1篇付世
  • 1篇蔡玉丽
  • 1篇王艳

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
新型复合结构电热微驱动器的研制被引量：2
2008年
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。
曾文光丁桂甫王艳付世蔡玉丽
关键词：复合结构有限元分析
新型复合结构电热微驱动器
微驱动器是微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）的重要组成部分，用于构成其中的驱动或执行单元，担负着微系统内能量转换、运动和力的传递及对系统信息进行响应等功能。本论文设计了...
曾文光
关键词：微机电系统复合结构
文献传递
聚合物基面外运动电热微驱动器
一种聚合物基面外运动电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能翘曲层、翘曲牵制层；翘曲牵制层位于功能翘曲层上方，形成双层结构，引线电极与功能翘曲层相连，用于电输入，引线电极置于基座支撑...
丁桂甫张丹曾文光
文献传递
聚合物基面外运动电热微驱动器
一种聚合物基面外运动电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能翘曲层、翘曲牵制层；翘曲牵制层位于功能翘曲层上方，形成双层结构，引线电极与功能翘曲层相连，用于电输入，引线电极置于基座支撑...
丁桂甫张丹曾文光
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