李莺
- 作品数：5 被引量：8H指数：1
- 供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金国家重大基础研究前期研究专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
- 溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究
- 采用溶胶-凝胶工艺,以醋酸钡,氧化锶,钛酸丁酯为原料制备了Ba<,0.8>Sr<,0.2>TiO<,3>溶胶,利用提拉法在Pt/TiO<,2>/SiO<,2>/Si衬底上制备BST薄膜,采用XRD衍射分析仪系统研究了不同...
- 李莺张卫华赵高扬
- 关键词：钛酸锶钡溶胶凝胶
- 文献传递
- 钛酸锶钡铁电薄膜的制备及微细加工
- 钛酸锶钡（BST）系薄膜由于其在IC-Capacitors，VLSI-DRAMs、FRAM等电容存储器，红外热释电成像器件等诸多领域的潜在应用价值，成为目前国内外铁电薄膜研究的热点。本文采用Sol-Gel工艺，在Pt/T...
- 李莺
- 关键词：钛酸锶钡铁电薄膜微细加工溶胶-凝胶介电性能感光性
- 文献传递
- 溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究
- 2005年
- 采用溶胶-凝胶工艺，以醋酸钡，氯化锶，钛酸丁酯为原料制备了Ba0．8Sr0．2TiO3溶胶，利用提拉法在Pt／TiO2／SiO2／Si衬底上制备BST薄膜，采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构。结果表明：热处理温度在600℃以上时，BST薄膜形成了较为完整的ABO3钙钛矿结构，且随热处理温度升高，热处理时间的延长，晶体生长沿（110）的取向性越好，结晶状况明显改善。
- 李莺张卫华赵高扬
- 关键词：BST溶胶-凝胶
- 钛酸锶钡薄膜微细图形的制备被引量：8
- 2006年
- 采用化学修饰的溶胶凝胶工艺,制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)溶胶及其凝胶薄膜.提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法,即以苯酰丙酮(BzAcH)为化学修饰剂,乙酸钡、氯化锶、钛酸丁酯为原料,甲醇为溶剂,乳酸为催化剂,合成了具有螯合物结构的前驱溶胶体系.其螯合物的特征吸收峰在358nm附近,该溶胶及其凝胶薄膜在室温下有较好的化学稳定性;高压汞灯产生的紫外光照射可以分解薄膜中的螯合物结构,伴随着这种螯合物结构的分解,薄膜在乙醇中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性.利用这种光感应特性,采用紫外光通过掩膜照射薄膜,然后在乙醇中溶洗,获得了凝胶薄膜的微细图形,进一步通过600℃晶化热处理,最后得到了具有钙钛矿相结构和铁电特性的钛酸锶钡薄膜的微细图形.
- 张卫华赵高扬李莺赵卫
- 关键词：钛酸锶钡铁电薄膜微细图形溶胶凝胶
- 溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究
- 采用溶胶-凝胶工艺,以醋酸钡,氯化锶,钛酸丁酯为原料制备了Ba.8Sr.2TiO溶胶,利用提拉法在Pt/TiO/SiO/Si衬底上制备BST薄膜,采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构。...
- 李莺张卫华赵高扬
- 关键词：BST溶胶-凝胶
- 文献传递
