杜晓辉
- 作品数：93 被引量：58H指数：4
- 供职机构：机械工业仪器仪表综合技术经济研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 国产傅立叶变换红外光谱仪综合验证评价技术研究被引量：1
- 2018年
- "十二五"以来,高性能国产仪器得到大力发展,但是仍在向中低端市场聚集,仪器性能提升和应用推广之间难以形成良好的促进。文章提出一种基于第三方获取可靠数据的仪器验证评价新方法,该方法的优势在于能从全生命周期评价仪器性能,帮助潜在用户真实了解国产仪器。通过数据分析进一步提升国产仪器并促进其应用推广,支撑国产高性能仪器进入中高端市场。本文重点以某国产傅立叶变换红外光谱仪为例开展仪器综合验证评价技术研究。
- 杜晓辉赵燕雯卢铁林石镇山
- 关键词：国产仪器
- 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法
- 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法，涉及一种微机电系统传感器与制动器。提供一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法。1）将玻璃片与硅片键合在一起，形成硅/玻璃组合片以及中间的牺牲氧化层；2）将步骤1...
- 孙道恒占瞻何杰杜晓辉虞凌科李益盼王凌云
- 锚定新基建 协同发力 精准施策 推动我国仪器仪表行业高质量发展被引量：6
- 2020年
- 早在20世纪末,王大珩院士、金国藩院士等仪器仪表行业专家就提出了振兴我国仪器事业的目标和若干建议。王大珩院士指出"仪器是认识世界的工具。这是相对机器是改造世界的工具而言的,而改造世界是以认识世界为基础的"。"仪器仪表是工业生产的‘倍增器’,是科学研究的‘先行官’,是军事上的‘战斗力’,是现代生活的‘物质法官’"。这四句话精辟地概括了仪器仪表对国民经济、科学研究和国家安全的重要作用。
- 欧阳劲松杜晓辉方毅芳
- 关键词：仪器仪表倍增器
- 可加热自动对心匀胶机
- 可加热自动对心匀胶机，涉及用于薄膜工艺的匀胶机。设有感应加热控制器和自动对心平台；感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；感应加热...
- 王凌云陈梦月梁楚尉蔡建法周如海杜晓辉
- 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法
- 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法，涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片；采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片...
- 吕文龙占瞻左文佳杜晓辉苏源哲王凌云孙道恒
- 一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置
- 本公开提供了一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置，包括温湿度监测单元，对洞窟空气颗粒物的湿度和颗粒物浓度检测环境的温度进行实时监测，并发送空气湿度数据和检测温度数据至数据处理单元；除湿单元，根据空气湿度数据对洞窟空气颗...
- 刘帅杨盼盼杜晓辉朱敏杰王洲刘丹王麟琨
- 微隧道式加速度计的最优控制被引量：1
- 2013年
- 为了扩大隧道式加速度计(MTA)的动态测量范围并通过降低系统中的主要噪声来提高器件的性能,本文为隧道式加速度计(MTA)设计了线性二次高斯(LQG)控制器。推导了微隧道式加速度计的线性化状态-空间方程;依据分离定理,设计了卡尔曼滤波器和最优状态反馈控制器;最后,在Matlab/Simulink中构建了由卡尔曼滤波器和最优状态控制器串联的LQG仿真系统并进行了动态和静态测试。仿真结果表明,LQG最优控制系统能够将微隧道式加速度计的带宽从2×103 rad/s扩大到3×106 rad/s。通过LQG最优控制,静态测试结果显示其静态隧道电流的波动从1nA～2.95nA降到0.73nA～1.14nA;动态实验数据表明其在方波加速度信号的作用下能够将隧道间隙维持在1nm。
- 刘益芳吴德志郑高峰杜晓辉孙道恒
- 关键词：控制器设计LQG控制器
- 一种应用于微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法
- 一种应用于微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法，涉及微器件封装工艺。提供基于气浮沉积技术，可实现各种形状通孔互联的一种适用于微机电系统中微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法，所述适用于微机电系统中微器件圆片级封装通孔...
- 孙道恒占瞻虞凌科杜晓辉王小萍何杰王凌云
- 一种基于纳米压电纤维的压力传感器
- 一种基于纳米压电纤维的压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种灵敏度较高的基于纳米压电纤维的压力传感器。设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维；所述硼掺杂层设于硅基底的上表面，硼掺杂层与硅基底...
- 王凌云苏源哲杜晓辉占瞻孙道恒
- 微机电谐振式粘度传感器
- 本公开提供了一种微机电谐振式粘度传感器，包括依次键合连接的第一液体接触膜、SOI组合体和第二液体接触膜，第一液体接触膜与第二液体接触膜关于SOI组合体镜像对称，SOI组合体包括谐振器，第一液体接触膜具有第一薄膜，第二液体...
- 杜晓辉刘帅朱敏杰刘丹王麟琨
