熊志铭
- 作品数：8 被引量：32H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院中科院材料力学行为和设计重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 光机械式红外探测器中镜面弯曲对探测灵敏度的影响(英文)
- 2007年
- 光学读出式红外成像技术是近年来研究的热点,本文讨论了镜面弯曲对光学检测灵敏度的影响。由双材料微悬臂梁组成的非致冷焦平面阵列通过体刻蚀工艺加工而成,由于残余应力的影响,制成的焦平面阵列将会发生弯曲,应力导致的镜面弯曲将会降低光学探测灵敏度。本文通过傅立叶光学模拟了镜面弯曲对光学探测灵敏度的影响,并通过实验验证了该模型。实验和模拟结果表明,在镜面曲率为0 .1mm-1时,光学探测灵敏度将会降低到理想情况的40 %。最后我们用这个模型评价了通过表面修饰来提高光学性能的效果。
- 缪正宇张青川伍小平陈大鹏郭哲颖董凤良熊志铭李超波焦斌斌
- 关键词：光学读出焦平面阵列
- 光学读出非制冷红外成像的最新进展被引量：11
- 2007年
- 针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成。微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量。FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的,利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bitCCD,得到了室温物体的热像。讨论了60μm×60μm单元区域的性能,给出了NETD在100mK左右。和以前的工作相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善。
- 董凤良焦斌斌张青川陈大鹏缪正宇熊志铭
- 关键词：非制冷红外成像光学读出焦平面阵列
- 光学读出室温物体红外成像被引量：10
- 2005年
- 光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm)。用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像。该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K。
- 郭哲颖张青川陈大鹏伍小平董凤良缪正宇熊志铭李超波
- 关键词：微悬臂梁红外成像光学读出光电效应
- 双材料微梁阵列室温物体红外成像被引量：21
- 2006年
- 针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focalplanearray,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体——人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.
- 缪正宇张青川陈大鹏伍小平李超波郭哲颖董凤良熊志铭
- 关键词：非制冷红外成像光学读出
- 光学读出微梁阵列红外成像及性能分析被引量：14
- 2007年
- 在构建的光学读出微梁阵列(焦平面阵列FPA)非制冷红外成像系统中,实现了无硅基底FPA置于空气中对人体的热成像.通过FPA在不同真空度环境条件下的成像结果进行比较,分析了热导和系统噪声值随气压变化的关系,以及对系统成像性能的影响,并对气体分子热运动自由程大于空气传热层特征尺度时的气体热传导模型进行了修正分析和实验验证.实验结果表明:FPA置于空气中时,气体分子撞击微梁引起的微梁反光板无序振动产生的光学读出噪声成为系统噪声的主要来源.当真空度小于1Pa时,总热导和光学读出噪声值的变化都趋于平缓;当真空度小于10-2Pa时,空气热导的影响可忽略,总热导降低到微梁感热像素的辐射极限,光学读出噪声也降低到一极小值.实验结果与理论分析相符合.
- 熊志铭张青川陈大鹏伍小平郭哲颖董凤良缪正宇李超波
- 关键词：非制冷红外成像光学读出
- 光学读出红外成像及其FPA性能分析
- 2007年
- 针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50 μm×50μm和60 μm×60 μm的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度-灰度响应曲线及噪声进行了测定.实验结果表明该微梁结构FPA构成的红外成像系统的噪声等效温度差(NETD)约100 mK.和课题组之前的研究结果(微梁单元尺寸120μm×120μm,NETD约300 mK)相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.
- 高杰焦斌斌陈大鹏董凤良张青川缪正宇熊志铭伍小平
- 关键词：非制冷红外成像光学读出焦平面阵列
- 非制冷红外成像无基底FPA的气压依赖特性及系统性能优化
- 本课题组设计制作了一种集成化的光学读出非制冷红外成像系统。这一系统利用双材料微悬臂梁阵列的热．机械响应原理来检测入射红外辐射，建立了基于非相干光空间滤波技术的高灵敏度光学读出系统来检测微悬臂梁阵列(FPA)的热致转角，并...
- 熊志铭
- 关键词：非制冷红外成像FPA红外成像仪
- 文献传递
- 光学读出的MEMS非制冷红外成像技术
- 本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200&...
- 郭哲颖张青川陈大鹏伍小平董凤良缪正宇熊志铭李超波
- 关键词：微悬臂梁非制冷红外成像光学读出
