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王玉光
王玉光
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
费允杰
中国科学院物理研究所
冯克安
中国科学院物理研究所
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探测器
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金刚石膜
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作者
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费允杰
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王玉光
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1篇
功能材料与器...
年份
1篇
2000
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金刚石膜紫外光电导探测器及性能
被引量:4
2000年
用化学气相沉积法生长金刚石膜,在此膜上制作紫外光电探测器,并作了性能测试。该器件是叉指式电极结构,可以减小电极间隙,减少光激发载流子的损失,提高器件的响应灵敏度。表面处理可除去金刚石膜的低电阻表面层,提高器件对紫外光的探测性能。测试表明,用金刚石制作的器件对波长小于225nm的紫外光的响应比可见光高4个量级。
王玉光
费允杰
冯克安
关键词:
紫外光电探测器
金刚石薄膜
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