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罗小平
作品数:
1
被引量:14
H指数:1
供职机构:
南昌大学材料科学与工程学院教育部发光材料与器件工程研究中心
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
戴江南
南昌大学材料科学与工程学院教育...
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年份
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2005
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退火温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响
被引量:14
2005年
采用常压金属有机物化学气相淀积法在(0001)Al2O3衬底上生长出高质量ZnO单晶膜,在空气中进行了710~860℃不同温度的退火处理.用X射线双晶衍射、光致发光法研究了退火温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.ZnO(002)面X射线双晶ω扫描曲线的半高宽(FWHM)随退火温度的升高变小,770℃后基本保持不变,ZnO(102)面双晶。扫描曲线的FWHM一直变小.770℃退火后ZnO样品X射线ω-2θ扫描曲线中出现ZnO2(200)衍射峰.同时,光致发光测试表明,随着退火温度升高,带边发光强度减弱,与深能级有关的绿带发光出现并逐渐增强.通过ICP刻蚀,去除退火后样品的表面层,ω-2θ扫描曲线中ZnO2(200)衍射峰和PL谱中绿带发光均消失,表明ZnO2相和深能级缺陷在样品表面.
温战华
王立
方文卿
蒲勇
罗小平
郑畅达
戴江南
江风益
关键词:
金属有机物化学气相沉积
氧化锌
X射线双晶衍射
光致发光谱
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