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胡北

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇射频
  • 1篇感应耦合
  • 1篇感应耦合等离...
  • 1篇凹腔
  • 1篇棒状

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇吉亮亮
  • 1篇陈志鹏
  • 1篇李弘
  • 1篇罗辰
  • 1篇刘万东
  • 1篇白小燕
  • 1篇王慧慧
  • 1篇欧阳亮
  • 1篇胡北

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备
凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备，包括：提供放电气体和等离子体与加工器件反应场所的反应室、放置在反应室内的至少一个凹腔型线圈天线、连在凹腔型线圈天线两端的射频RF电源；所述的凹腔型线圈天线为至少一个棒状凹腔型线圈...
欧阳亮刘万东白小燕陈志鹏王慧慧李弘罗辰吉亮亮胡北
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