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莫志强
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1
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供职机构:
清华大学信息科学技术学院电子工程系
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相关领域:
理学
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合作作者
姜志雄
清华大学信息科学技术学院电子工...
查良镇
清华大学信息科学技术学院电子工...
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真空科学与技...
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1篇
1994
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注氧条件下GaAs中Ga^+二次离子发射的研究
1994年
在有与没有Ar+同时轰击的条件下,研究了GaAs中Ga+2次离子发射的氧效应。对吸附在表面上的氧以及反弹注入到表面内的氧引起的Ga+二次离子产额增强效应进行了实验研究,同时测量了氧分压强对Ga+二次离子能量分布的影响。实验结果表明:注氧后Ga+二次离子能量分布变窄且最可见能量向低能端移动2~3eV,说明氧对低能Ga+二次离子的增强作用更强,这可以用断键模型来解释。
莫志强
姜志雄
查良镇
关键词:
砷化镓
镓
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