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金建华

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光液
  • 1篇纳米
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇肖保其
  • 1篇张鹏珍
  • 1篇褚于良
  • 1篇卢海参
  • 1篇张泽芳
  • 1篇雷红
  • 1篇金建华

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型高性能纳米抛光材料及亚纳米级抛光技术研究
雷红褚于良金建华张鹏珍卢海参张泽芳肖保其
该课题开展了高性能纳米抛光材料及亚纳米级抛光技术研究。通过制备了一系列纳米磨粒及相应的纳米粒子抛光液，在进口SPEEDFAM工业抛光机上直接实验了各种纳米粒子抛光液的抛光性能，研究了计算机铝镁合金硬盘、玻璃光盘基片等的亚...
关键词：
关键词：抛光液化学机械抛光
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