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刘博林
作品数:
2
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供职机构:
长春理工大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张军
吉林大学
朱大伟
长春理工大学
王丽娟
北方液晶工程研究开发中心
惠博然
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张军
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年份
2篇
1998
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a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究
1998年
本文全面地介绍了a —Si TFT AM - LCD 制备工艺中的湿法刻蚀。通过改变刻蚀液的配比和刻蚀条件, 达到了优化湿法刻蚀的目的。并达到了高的选择比,解决了沟道刻蚀困难的问题。而且克服了湿法刻蚀的刻蚀液配比不当出现的针孔,以及刻蚀时间过长, 渗透光刻胶的边缘出现的钻蚀。
王丽娟
刘博林
惠博然
关键词:
湿法
针孔
薄膜晶体管
溶胶—凝胶法合成PLZT超细粉末
1998年
以金属氧化物、无机盐和一种金属醇盐- 钛酸丁酯为原料, 用溶胶- 凝胶法合成PLZT (La/Zr/Ti 为8/65/35) 超细粉末, 并研究了pH 值、温度、干燥过程等工艺条件对溶胶时间和胶凝性能的影响, 通过X 射线衍射分析, 研究了焙烧温度对PLZT 粉末性能的影响。
惠博然
朱大伟
刘博林
张军
关键词:
溶胶-凝胶法
超细粉末
光电子材料
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