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刘扬

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：吉林大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇原子层外延
  • 1篇数字化
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘介质
  • 1篇SUB
  • 1篇AL
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇马力
  • 1篇赵方海
  • 1篇刘扬
  • 1篇郑伟

传媒

  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
绝缘介质Al_2O_3薄膜的数字化生长技术
1995年
采用ＣＶＤ技术实现了Ａｌ２Ｏ３薄膜的数字化生长，实验结果表明这种生长方法具有生长温度低、层厚可控等特点，生长出的薄膜每周期生长厚度约为１．１９。
赵方海刘扬郑伟马力
关键词：数字化绝缘介质衬底温度原子层外延
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共1页<1>
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