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孙志刚

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇半导体
  • 1篇电容
  • 1篇在线检测
  • 1篇市话
  • 1篇无线
  • 1篇无线市话
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体工艺设...
  • 1篇PAS
  • 1篇测试仪
  • 1篇掺杂
  • 1篇C-V

机构

  • 4篇西安交通大学

作者

  • 4篇孙志刚
  • 2篇李同合
  • 1篇陈光遂
  • 1篇高捷
  • 1篇陈之昀
  • 1篇谢海
  • 1篇邵志标
  • 1篇徐伟明
  • 1篇钱伟

传媒

  • 1篇西安交通大学...

年份

  • 2篇2005
  • 1篇1996
  • 1篇1995
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
西安市PAS升iPAS无线市话建设方案的研究与实现
孙志刚
半导体掺杂分布精细结构的测量技术研究被引量：2
1996年
论述了一种采用数控精细扫描电压源的电容－电压（Ｃ－Ｖ）测量系统，利用该系统可以测量硅及砷化镓样品表面层的掺杂分布的精细结构，为半导体器件和集成电路芯片的设计与制造工艺的优化提供可靠的依据，测试系统采用ＰＣ微机作为主控机，配以接口模块，数据采集模块，控制模块及电容仪等，可使测量快速，准确地进行，并可使复杂的操作与计算过程完全自动化。
孙志刚李同合
关键词：半导体
用于半导体精细掺杂分布测量的电容—电压测试法的研究
孙志刚
C-V测试仪
陈光遂高捷李同合陈之昀邵志标徐伟明孙志刚谢海钱伟
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1、成果简介：该系统是大规模集成电路及半导体分立器件及半导体分立器件上生产线上工艺在线检测测的重要设备。生产流程一旦发现问题，利用它可以在氧化、扩散、离子注入、电子束蒸发铝、外延...
关键词：
关键词：半导体工艺设备在线检测
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