张丽华
- 作品数：9 被引量：11H指数：2
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 流延热释电厚膜陶瓷制备单元红外探测器被引量：1
- 1995年
- 本文报道采用流延法制备的热释电厚膜陶瓷材料直接装配的单元红外探测器，该方法大大简化了目前探测器的制备工艺，极大地提高了材料的利用率，器件的性能也达到了目前探测器的水平。
- 刘瑞斌林盛卫瞿翠凤张毓荣王泽明张丽华
- 关键词：红外探测器流延法
- 国内热释电焦平面探测器研制新进展
- 昆明物理研究所于2003年3月成功实现了128×128热释电焦平面探测器的成像演示,国内非制冷焦平面器件研制取得了突破性进展.本文从热释电晶片制备技术、高吸收率吸收结构设计与制作、网格化热隔离技术、铟柱制备技术和倒装互连...
- 太云见黄承彩林猷慎黎力张丽华张敏
- 关键词：非制冷焦平面探测器热释电
- 文献传递
- 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究被引量：8
- 2003年
- 着重介绍了我们在“1 2 8×1 2 8混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求 ,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量 ,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作。文中给出了铟柱列阵显微照片 (显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像 ,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程 ,并叙述了倒装互连技术 ,且给出了我们的成像演示照片和器件照片 。
- 黄江平杨春丽黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：热释电焦平面铟柱UFPA
- 热释电非致冷焦平面器件BST晶片制备
- 讨论了在热释电材料 BST 物理性能不理想的情况下,通过材料优选,改善磨抛工艺,制备出边角完整,平行差小于2μm,光洁如镜面的16mm×16mm,厚度25μm 的非致冷焦平面器件 BST 晶片。保证了128×128元焦平...
- 张丽华
- 关键词：非致冷焦平面网格化
- 文献传递
- 光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究
- 简要介绍了光刻在128×128混合式非制冷热释电焦平面(UFPA)探测器制作中的重要地位,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究.对铟柱成形的几种方法进行了比较,确定了剥离法制备铟柱.并进行了光刻实验与分析,得到...
- 杨春丽黄江平黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：光刻技术焦平面探测器
- 128×128混合式非制冷热释电焦平面器件
- 本文介绍了国内首次研制成功的128×128热释电非制冷混合式焦平面器件,并给出该器件性能初步评估得到的成像,对试验结果进行讨论和分析.
- 胡旭黄承彩林猷慎太云见黎力张敏张丽华
- 关键词：热释电红外焦平面阵列
- 文献传递
- InSb的镁、锌离子注入
- 1993年
- 本实验选择较轻元素镁和较重元素锌对n^-InSb进行离子注入,用LSS理论估算了注入离子浓度和结深,结合霍耳测量结果就理论值与测量值的差异进行分析,提出实验中存在的注入离子反射损失率问题,考虑了离子反射损失的修正并估算了几个样品的有效注入离子的掺杂效率。
- 赵晋云张丽华王锦善
- 关键词：INSB离子注入
- 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究
- 着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄...
- 黄江平杨春丽黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：铟柱
- 光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究被引量：3
- 2004年
- 简要介绍了光刻在 1 2 8× 1 2 8混合式非制冷热释电焦平面 (UFPA)探测器制作中的重要地位 ,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究。对铟柱成形的几种方法进行了比较 ,确定了剥离法制备铟柱。并进行了光刻实验与分析 ,得到了满足 1 2 8× 1 2
- 杨春丽黄江平黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：光刻剥离法UFPA探测器
