张贵锋
- 作品数：34 被引量：92H指数：6
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- 相关领域：理学电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 火焰法合成大面积金刚石薄膜的初步研究
- 1994年
- 本文给出单喷嘴移动火焰在大气条件下合成大面积金刚石薄膜的初步试验结果。用喇曼光谱、扫描电镜分析了膜的结构和形貌。试验表明，移动火焰法能合成大面积高质量的金刚石薄膜，薄膜的质量、均匀性强烈取决于沉积温度。
- 张贵锋郑修麟
- 关键词：金刚石薄膜火焰法
- 新型红外增透膜与保护膜被引量：16
- 1995年
- 综述了近年来几种新型红外光学材料──类金刚石、金刚石、碳化锗及磷化硼薄膜的发展现状，详细论述了这些光学材料的性能特点、制备方法、应用前景、存在的关键问题以及未来的发展方向。
- 张贵锋
- 关键词：类金刚石金刚石红外增透膜
- 热丝CVD法制备C-N薄膜的结构分析被引量：3
- 1998年
- 用热丝 CVD法 ,以甲烷、氮气和氢气为气源 ,在 Si( 1 1 1 )衬底上沉积了C- N薄膜。用 X射线光电子谱 ( xps)、喇曼光谱 ( RS)、X射线衍射 ( XRD)和扫描电镜( SEM) ,对 C- N薄膜的结构及生长速率进行了分析研究。结果表明 :C- N薄膜的结构为非晶态 ,同时含有金刚石和石墨相 ;氮以三种不同的化学键合状态存在于膜中 ,其中 β键合状态的结合能与晶态 β- C3N4的结合能接近 ;随混合气体中氮气含量增加 ,C- N薄膜的生长速率减小。
- 耿东生杨振江刘正堂张贵锋
- 关键词：金刚石
- 类金刚石薄膜的高红外透过率研究被引量：1
- 1992年
- 类金刚石薄膜最主要应用在光学领域,尤其在红外领域,它非常适合于作红外窗口材料的增透兼保护膜。本文采用电容耦合射频外加直流设备,裂解碳氢化合物产生等离子体,进行离子增强化学气相沉积,制备类金刚石薄膜。采用平板式电极,衬底样品放在阴极极板上。
- 郭力军张贵锋刘正堂许念坎郑修麟
- 关键词：类金刚石红外透过率
- 全文增补中
- 类金刚石碳膜的间歇式沉积法被引量：1
- 1992年
- 在机械学领域中,类金刚石碳膜的应用尚需解决的问题之一是膜与衬底的附着性和膜厚,两者往不能统一。为此,我们采用了间歇式沉积法。实验表明,间歇式沉积可大大增加膜厚而不影响膜与衬底的附着性。
- 张贵锋耿东生许念坎郑修麟
- 关键词：辉光放电类金刚石
- 合成大面积金刚石薄膜的初步研究
- 金刚石薄膜具有优异的电学、光学、声学、热学和机械性能,是近几年在国际上受到极大重视的新型功能材料。自八十年代初以来,人们已发展了多种金刚石薄膜的合成方法,常用的方法包括热灯丝CVD法、直流或射频等离子体CVD法,微波等离...
- 张贵锋郑修麟
- 文献传递
- 大气下燃烧火焰法合成金刚石薄膜的结构与形貌
- 1992年
- 一、前言 金刚石具有一系列优异、独特的物理性质。已成为举世瞩目的特种材料。但不论是高温高压合成的,还是天然的金刚石,都不能制成膜状金刚石。因此,多年来人们只利用了金刚石超高硬度、高耐磨的特性,其它优异的功能性质均因形态所限而未能得到充分的开发利用。1958年,美国人Eversote用低气压气相法制备金刚石薄膜获得成功。进入80年代以来,成功地发展了多种化学气相沉积(CVD)金刚石多晶薄膜的制备方法,薄膜的生长速率、沉积面积和结构性质已逐步达到可应用的程序。 在各种激活的CVD方法中,利用氧—乙炔火焰喷枪沉积金刚石是一个非常有意义的新方法,它能在大气压下工作,且设备简单,操作较易。合成颗粒状金刚石时,合成速率最高为200μm/h,平均为30～50μm/h;合成薄膜时为100μm/h,合成类金刚石膜时为200～250μm/h,合成速度比热灯丝法或微波等离子体CVD法快10倍以上。用火焰法合成的金刚石质量优异,甚至可以得到透明的高质量金刚石。近三年来的研究发展情况表明,金刚石火焰合成法已经成为低压气相合成金刚石研究领域最受重视的方法之一。
- 张贵锋郑修麟
- 关键词：金刚石合成火焰法高温高压合成功能性质类金刚石膜
- 类金刚石薄膜的结构与光学性能研究
- 1992年
- 一、前言 类金刚石碳膜（Diamond-Like Carbon Films）是国际上70年代发展起来的一种新型薄膜材料。由于该薄膜具有坚硬耐磨、电阻率和热导率高、化学性能稳定、光学透明等类似于金刚石的特性,因此,自1971年美国人Aisenberg首先发表有关类金刚石碳膜的研究论文后,引起了世界各国的浓厚兴趣。与金刚石薄膜相比,类金刚石薄模有以下3个特点:（1）制备方法比较简便,成本较低,沉积温度低,在二、三百摄氏度以下;（2）沉积膜的微观表面光滑;（3）依赖膜的组分和结构,其性质可在很宽的范围内变化。例如,根据所采用的气源种类等因素的不同,折射率可在1.7～2.9之间变化。这些优点表明:类金刚石薄膜特别适用于作光学零部件的增透膜和保护膜。类金刚石薄膜的性质由其结构所决定,而结构又与制备方法和制备条件有关。因此,研究类金刚石薄膜的性质、结构和沉积工艺间的关系是非常重要的课题。 二、试验方法 改装GDM-300BN型高真空镀膜机。采用平板型阴阳极平行安装,屏蔽的阴极水冷并接13.56MHz射频电源功率极,阳极与真空罩相连并接地。Ar、CH4、C2H2气体流量由质量流量计控制,直流负偏压大小用WYG-30B高压速调管电源调节,设备示意如图1所示。衬底材料为单晶硅和锗。
- 张贵锋郭力军刘正堂许念坎郑修麟
- 关键词：类金刚石薄膜类金刚石碳膜真空镀膜机沉积温度速调管电源功率
- 类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备工艺与性能研究
- 张贵锋
- 火焰法在硬质合金上合成金刚石薄膜被引量：1
- 1996年
- 用Ｏ２／Ｃ２Ｈ２燃烧火焰法在各种不同性质的衬底材料上直接合成金刚石薄膜，研究了硬质合金刀头在不同的冷却方式下，对合成金刚石膜的影响。结果表明：ＹＧ６硬质合金由于Ｃｏ的存在影响了金刚石膜的质量；当冷却方法不当时，硬质合金刀头刃部易过热；
- 张贵锋郑修麟
- 关键词：金刚石薄膜火焰法硬质合金刀具
