公共文化服务平台

共 2 条记录，以下是 1-2

全选清除导出

排序方式：

飞秒激光在宽带隙陶瓷表面的烧蚀特性被引量：3: 2012年; 采用飞秒激光微加工系统对宽带隙陶瓷材料SiC和Al2O3诱导微结构时的去除机理及烧蚀特性进行了研究。应用扫描电子显微镜、粗糙度轮廓仪、光学显微镜和能量色散谱仪等对烧蚀的微观形貌和化学组成进行了评价,得出加工SiC时强烧蚀和轻烧蚀的破坏阈值分别为0.61 J/cm2和0.13 J/cm2。同时获得了加工参数与烧蚀形貌之间的关系,发现材料的去除机理强烈依赖于入射激光的脉冲能量,并对二者的关联机制进行了分析。探讨了表面粗糙度和掺杂在材料中的不同元素对烧蚀结果的影响。从而为在难加工类宽带隙陶瓷材料表面加工高质量的微结构提供了有力的理论依据和技术支持。; 姜涛赵清亮樊荣伟董志伟于欣李卫波; 关键词：飞秒激光宽带隙破坏阈值微结构

飞秒激光抛光碳化硅陶瓷材料的工艺过程研究: 碳化硅是继硅、锗、砷之后发展起来的第三代半导体材料。其具有比刚度高、热稳定性好等优点，已经成为制作高精度空间反射镜的首选材料，在空间光学和电子学领域以及微结构模具加工方面具有极大的应用前景。　　碳化硅作为一种多相陶瓷，具...; 李卫波; 关键词：飞秒激光碳化硅表面粗糙度; 文献传递

全选清除导出

共1页<1>

李卫波