杨晔
- 作品数：6 被引量：7H指数：1
- 供职机构：浙江理工大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信经济管理理学更多>>
- 相位调制激光干涉空气折射率测量方法及其应用研究
- 以激光波长为长度基准的激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术,广泛应用于各种超精密加工、半导体集成电路芯片制造等高端装备领域。由于激光干涉位移测量大多在空气中进行,而激光在空气中的波长值与空气折射率密切相关,因...
- 杨晔
- 关键词：相位调制激光干涉空气折射率
- 一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法
- 本发明公开了一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法。单频激光器输出的激光经光隔离和正弦相位调制后，由侧向位移分光镜分成两平行光束，射向正弦相位调制干涉仪获得测量和补偿干涉信号，由两个探测器接收；长度可变真空腔...
- 严利平陈本永杨晔
- 激光合成波长干涉波长测量方法与系统
- 严利平陈本永张世华张恩政杨晔
- 激光波长是作为几何量测量的标尺，几何量测量溯源至“米”定义是长度精密测量的基础问题，因此精确测量与校准激光器的激光波长是保证几何量测量准确性和量值溯源的关键，有着重要的科学意义和应用价值，是科学技术发展中的一项共性基础技...
- 关键词：
- 关键词：几何量测量
- 一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法
- 本发明公开了一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法。单频激光器输出的激光经光隔离和正弦相位调制后，由侧向位移分光镜分成两平行光束，射向正弦相位调制干涉仪获得测量和补偿干涉信号，由两个探测器接收；长度可变真空腔...
- 严利平陈本永杨晔
- 文献传递
- 灰色系统理论及在国民经济中的应用研究
- 系统科学是20世纪人类最伟大的科学成就之一，而一般系统理论是系统科学的基础理论。其中的数学一般系统理论致力于对输入输出系统的控制、决策等的研究，并提供了相当完善和精确的概念、结构及相关定理。
灰色系统理论就是一...
- 杨晔
- 关键词：经济预测
- 文献传递
- 基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量误差分析与补偿被引量：6
- 2021年
- 为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响,本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差,并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法,同时研究了真空腔内残余气压的测量和补偿方法。为了验证所提出方法的可行性,搭建了基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量系统,测量结果与Edlén公式结果进行对比。实验结果显示,本系统测量结果与Edlén公式结果具有较好的一致性,在2.2 h和20 min内,两者之间偏差的标准偏差分别为2.34×10^(-8)和2.89×10^(-8),这表明本文所提出的空气折射率测量误差补偿方法是可行和有效的,可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。
- 杨晔严利平陈本永楼盈天
- 关键词：激光干涉误差补偿
