武淑明
- 作品数：5 被引量：10H指数：2
- 供职机构：固体激光技术国家级重点实验室更多>>
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- 中红外激光器OPO使用膜层的研制
- 文中讨论了中红外激光器中光参量振荡器(OPO)所用光学薄膜的设计和制备方法.针对激光晶体,如Tm:YAG和非线性晶体、ZnGeP2以及各种不同性能的耦合镜片,设计了多种薄膜类型,其中包括减反射、部分透过和截止滤光膜.根据...
- 洪冬梅岳威王春武淑明
- 关键词：光参量振荡器中红外激光器超声波离子源
- 文献传递
- 谐振腔衰荡法检测激光高反射薄膜损耗被引量：1
- 2012年
- 光学薄膜的损耗类型主要涉及吸收和散射,精确测定其数值是制备具有高品质和灵敏度指标激光薄膜的前提。本文以薄膜光学和激光技术为背景,介绍了谐振腔衰荡检测高反射薄膜的原理、特性以及测试方法。以1064 nm和1311 nm的高反射膜层为例,利用Losspro激光测试装置,对于二氧化锆(ZrO2)、五氧化二钽(Ta2O5)材料获得百万分(ppm)量级精度的损耗数据后,针对不同薄膜材料和工艺方法进行了对比检测,分析认为速率控制和离子束能量对于相同材料的激光高反射薄膜具有明显的影响,进而为薄膜样品的制备奠定了技术基础。
- 岳威韩永昶东野斯阳武淑明赵明艳
- 关键词：光学薄膜
- 硒化锌基底7．8～10．6μm波段增透膜被引量：5
- 2006年
- 文中介绍了研制的7．8～10．6μm的长波红外增透膜，平均透射率大于98％。通过材料选择，合理的膜系设计，离子辅助技术和温度筛选等多种改进工艺，研制出可靠性和光谱特性皆优的ZnSe长波红外增透膜，达到了GJB2485-95光学薄膜通用规范要求。
- 林炳孙剑张阔王春武淑明朱震
- 关键词：光学薄膜红外增透膜
- 大尺寸硅基体633nm和3.5～4.1μm双波段高反射膜研制被引量：2
- 2012年
- 硅由于透光区域较宽,便于光学系统使用而经常应用于中波红外光学系统中。但是,以其作为基底,镀制0°～22.5°入射、633 nm与3.5～4.1μm双波段的反射膜却具有相当大的难度,尤其是φ300 mm等大尺寸硅镜引起的牢固度问题。以红外光学和薄膜技术为背景,介绍了大尺寸硅基体反射膜的特性、制备及测试方法。由于红外区可选用的薄膜材料较少,兼顾膜层的制备、光谱特性及可靠性满足等方面因素,最终采用氟化镱(YbF3)作为低折射率材料。经过多次实验,采用速率控制、离子辅助等工艺方法,选取合适的基底温度,解决了在大尺寸硅基体上由于膜层过厚以及YbF3膜层严重应力作用而导致的膜层龟裂问题,最终研制成功符合使用要求,且可靠性和光谱特性皆优的双波段反射薄膜。
- 岳威韩永昶东野斯阳武淑明赵明艳
- 关键词：红外光学高反射膜
- 中红外激光薄膜的研究与特性分析被引量：2
- 2008年
- 介绍了高能中红外固体激光器中光学薄膜的用途、设计与制备方法。以2μm泵浦和1.06μm泵浦方案为例,针对核心部件光参量振荡器的激光晶体与耦合腔镜,讨论了减反射、部分透过和截止滤光等薄膜在研究过程中的主要技术问题,并在不同情况下对此波段内薄膜的吸收、内应力与损伤阈值完成了特性的对比测试分析,相关薄膜应用在中红外激光器中已取得了5kHz下10W的输出效果。
- 洪冬梅岳威王春武淑明
- 关键词：中红外内应力
