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王晓荣

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇退火
  • 3篇热退火
  • 3篇金属栅
  • 3篇快速热退火
  • 3篇衬底
  • 2篇叠层
  • 2篇叠层结构
  • 2篇金属性
  • 2篇功函数
  • 2篇层结构
  • 1篇调制
  • 1篇图形面积
  • 1篇SUB

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇茹国平
  • 3篇李炳宗
  • 3篇屈新萍
  • 3篇蒋玉龙
  • 3篇王晓荣

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种有效调制TiN<Sub>x</Sub>金属栅功函数的方法
本发明属微电子技术领域，涉及一种有效调制TiN<Sub>x</Sub>金属栅功函数的方法。本发明在已形成栅介质的材料上用正胶进行光刻，形成一定面积的图形，再把淀积一定厚度的TiN<Sub>x</Sub>做栅极后，在TiN...
王晓荣蒋玉龙茹国平屈新萍李炳宗
文献传递
一种调节TiN金属栅功函数的方法
本发明属于微电子技术领域，具体为一种有效调制TiN金属栅功函数的方法。该方法包括在已经形成栅介质层的样品上进行光刻，形成图形，然后淀积TiN做金属性栅极，再在TiN薄膜上淀积Yb，最后在Yb上淀积TiN薄膜作覆盖层防止Y...
王晓荣蒋玉龙茹国平屈新萍李炳宗
文献传递
一种有效调节TiN金属栅功函数的方法
本发明属于微电子技术领域，具体为一种有效调制TiN金属栅功函数的方法。该方法包括在已经形成栅介质层的样品上进行光刻，形成图形，然后淀积TiN做金属性栅极，再在TiN薄膜上淀积Yb，最后在Yb上淀积TiN薄膜作覆盖层防止Y...
王晓荣蒋玉龙茹国平屈新萍李炳宗
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