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陈莉纯

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：光明化工研究设计院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 2篇化学工程

主题

  • 2篇气体
  • 2篇高纯
  • 2篇高纯气
  • 2篇高纯气体
  • 2篇纯化器
  • 1篇电子气体
  • 1篇生产工艺
  • 1篇吸附剂
  • 1篇净化技术
  • 1篇氮
  • 1篇氢

机构

  • 1篇光明化工研究...
  • 1篇化学工业部

作者

  • 2篇陈莉纯
  • 1篇孙福楠
  • 1篇陈国忠
  • 1篇孔昭荣
  • 1篇李康善
  • 1篇朱心才
  • 1篇孔祥芝

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2002
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电子化学气及高纯气体终端纯化器和净化技术研究
陈莉纯孙福楠等
电子化学气体的研制是一项复杂的系统工程，涉及到多学科，其中包括气体合成、提纯，ppm、ppb级杂质的分析检测，气瓶、管路的内表面处理，安全、环保及解毒等诸多技术。该课题中氢和氮终端纯化器主要用于生产高纯氢和高纯氮，用于配...
关键词：
关键词：高纯气体氮氢生产工艺
电子化学气体及高纯气体终端纯化器和净化技术
陈莉纯孙福楠孔祥芝朱心才孔昭荣李康善陈国忠
一、成果内容简介：电子化学气体电子工业中超大规模集成电路微细加工过程中的关键性基础化工材料，主要用于外延、刻蚀和腐蚀等工艺；高纯氢和高纯氮主要用作运载气、保护气和混合气的底气。电子化学气和高纯气的纯度和洁净直接集成电路的...
关键词：
关键词：高纯气体电子气体吸附剂
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共1页<1>
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