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文献类型

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领域

  • 3篇理学
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  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 4篇应力
  • 4篇光学
  • 4篇光学加工
  • 2篇真空蒸镀
  • 2篇透镜
  • 2篇透镜焦距
  • 2篇凸透镜
  • 2篇凸透镜焦距
  • 2篇基底应力
  • 2篇激光
  • 2篇剪切干涉
  • 2篇焦距
  • 1篇镀膜
  • 1篇应力分析
  • 1篇元件
  • 1篇输出光束
  • 1篇装校
  • 1篇自重应力
  • 1篇面形
  • 1篇激光薄膜

机构

  • 6篇中国科学院上...

作者

  • 6篇祝沛
  • 2篇朱海东
  • 2篇郭爱林
  • 2篇沈卫星
  • 2篇谢兴龙
  • 2篇胡恒春
  • 2篇马晓君
  • 2篇唐仕旺
  • 1篇朱健强
  • 1篇陈卫华
  • 1篇张伟
  • 1篇陈卫华

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2014
  • 2篇2009
  • 2篇2008
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
凸透镜焦距的测量装置和测量方法
一种凸透镜焦距的测量装置和测量方法,该装置由1053nm光纤点光源、激光测距仪、精密移动导轨、待测凸透镜、剪切干涉板、毛玻璃屏和CCD组成。利用CCD观察经透镜准直后输出光束在剪切干涉板形成的条纹图样,调节光纤点光源在精...
朱海东郭爱林祝沛胡恒春唐仕旺马晓君谢兴龙
真空蒸镀光学元件面形变化机制研究
在惯性约束聚变(ICF)装置中,为了提高激光驱动系统的输出光束质量,需要对光学元件的面形进行严格控制。为了提高光学元件性能,元件表面需要镀制激光薄膜。然而镀膜后元件面形会发生改变。目前针对薄膜应力造成的形变的研究工作较多...
祝沛
关键词:真空蒸镀光学元件基底应力光学加工
凸透镜焦距的测量装置和测量方法
一种凸透镜焦距的测量装置和测量方法,该装置由1053nm光纤点光源、激光测距仪、精密移动导轨、待测凸透镜、剪切干涉板、毛玻璃屏和CCD组成。利用CCD观察经透镜准直后输出光束在剪切干涉板形成的条纹图样,调节光纤点光源在精...
朱海东郭爱林祝沛胡恒春唐仕旺马晓君谢兴龙
文献传递
镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应被引量:1
2009年
对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究。理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主要因素;实验研究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面形变化趋势,发现这种趋势变化具有时间效应和湿度效应。
祝沛沈卫星陈卫华张伟
关键词:面形
真空蒸镀过程基底应力对元件面形的影响被引量:3
2009年
在真空蒸发镀膜过程中,元件面形的改变主要决定于基底应力(包括自重应力与残余应力)在镀膜前后的分布状态。通过建模定性分析发现,基底的自重应力在薄膜沉积前后施加并撤除的状态变化,会导致薄膜与基底界而产生相互制约的应力。由此引起的基底形变幅度微小,基本可忽略不计;因此,基底的残余应力是导致真空蒸镀过程中基底而形变差的主要因素。在抛光前对基底进行精密退火处理,可以有效地消除由基底残余应力引起的无规则形变。
祝沛朱健强
关键词:光学加工应力分析自重应力残余应力
水致应力对激光薄膜光学元件面形的影响
激光薄膜通常选用SiO和HfO薄膜层叠构成,真空电子束蒸发镀制的激光薄膜具有柱状生长微结构,柱状晶粒之间存在大量的气孔和空洞,镀膜元件存放于外界环境中时,微孔会通过毛细凝结作用吸附空气中的水蒸气,从而诱发水致应力(wat...
祝沛沈卫星陈卫华
文献传递
共1页<1>
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