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翟晓晓
作品数:
9
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京师范大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
化学工程
轻工技术与工程
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合作作者
王力元
北京师范大学化学学院
褚战星
北京师范大学化学学院
徐娜
北京师范大学化学学院
李敏
北京师范大学化学学院
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2007
3篇
2006
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9
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几种光产酸剂产酸效率的测定
被引量:1
2007年
溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下的产酸量.其中三嗪光产酸剂的光照产酸能力最强.
褚战星
翟晓晓
王力元
李敏
关键词:
光致抗蚀剂
光产酸剂
指示剂
新颖的分子玻璃抗蚀剂研究
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料。通过一元羧酸和二乙烯基醚的反应, 我们得到了几种新颖的酯缩醛结构小分子化合物。这些有机化合物是无定形的,具有好的成膜性。它们可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性。在室温或稍高温...
徐娜
翟晓晓
王力元
关键词:
光产酸剂
N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其制备方法
本发明涉及N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其合成方法。N-羟基马来海松酸酰亚胺和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应,因此,由此类缩醛聚合物和光产酸剂等一...
王力元
翟晓晓
文献传递
水溶性光致抗蚀剂研究进展
被引量:2
2007年
本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
翟晓晓
褚战星
王力元
水溶性光致抗蚀剂研究进展
本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结。重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
翟晓晓
禇战星
王力元
文献传递
水溶性光致抗蚀剂研究进展
翟晓晓
禇战星
王力元
N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其制备方法
本发明涉及N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其合成方法。N-羟基马来海松酸酰亚胺和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应,因此,由此类缩醛聚合物和光产酸剂等一...
王力元
翟晓晓
水溶性光致抗蚀剂研究进展
本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结。重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点。
翟晓晓
褚战星
王力元
文献传递
新颖分子玻璃抗蚀剂的研究
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料。通过一元羧酸和二乙烯基醚的反应,我们得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃。这些有机化合物具有单分散性且是无定形的。它们可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性。在室温或稍高温度下,这...
徐娜
翟晓晓
王力元
关键词:
光产酸剂
文献传递
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