郭抗
- 作品数：60 被引量：87H指数：6
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>
- 用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
- 用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口...
- 孙振郭抗巩岩华洋洋倪明阳李显凌
- 文献传递
- 双电机光学元件轴向调节装置
- 双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电...
- 彭海峰巩岩孙振华洋洋郭抗倪明阳
- 文献传递
- 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计被引量：3
- 2016年
- 针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方程建立了机构位移、刚度、强度和固有频率的理论模型,为机构优化设计提供理论依据。计算和仿真结果表明理论模型和有限元分析误差分别为3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。试验结果表明行程测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为9.254%和13.524%,刚度测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为8.472%和11.914%。标定后传感器测试线性度由0.057 48%提高至0.004 39%,测试精度改善明显,能够满足光学精密位移测试需求。表明所搭建的标定装置有效,且建立的机构理论模型和分析方法可信。
- 张德福李显凌葛川倪明阳郭抗
- 关键词：伪刚体模型传感器线性度
- 一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置
- 一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的需要结构空间大、驱动器使用多和结构设计制造困难的问题。本发明包括镜座连接件、镜框连接件和两组微动调整机构；两组微...
- 郭抗倪明阳陈华男隋永新杨怀江
- 一种一体式轴向精密微调装置
- 本发明涉及深紫外投影光刻物镜技术领域，具体公开一种一体式轴向精密微调装置。本发明提供一种一体式轴向精密微调装置，包括镜框、驱动器，镜框为圆环结构，包括平动部、固定部和连接部，平动部和固定部由沿圆周的间接切割线分开，连接部...
- 陈华男郭抗倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
- 平板形二自由度压电马达的理论与试验研究
- 多自由度马达作为一种可实现多个自由度运动的驱动部件,在需要做多自由度运动的机电系统中得到了越来越广泛的应用,如机器人关节、全景摄像系统、光电跟踪装置等。与多台单自由度马达组合(每台单自由度马达负责一个转动或移动自由度)形...
- 郭抗
- 关键词：压电马达有限元分析
- 文献传递
- 一种微位移传感器标定装置
- 一种微位移传感器标定装置属于精密微动调整与检测领域，目的在于解决现有技术存在的测量的重复定位精度差和长期稳定性差的问题。本发明包括调整架、压电驱动器和标定基准组件；所述压电驱动器固定在所述调整架上，所述压电驱动器驱动调整...
- 赵磊杨怀江隋永新郭抗
- 文献传递
- 用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
- 用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口...
- 孙振郭抗巩岩华洋洋倪明阳李显凌
- 文献传递
- 电容位移传感器标定装置
- 本发明公开了一种电容位移传感器标定装置，属于传感器标定技术领域。解决了现有技术中电容位移传感器标定装置标定精度低的技术问题。该标定装置包括电容位移机构和干涉仪机构；所述电容位移机构包括标定台基座、标定台支撑架、传感器支撑...
- 张德福郭抗李显凌隋永新
- 文献传递
- 一种基于Roberts机构的圆周导向机构
- 本发明提供了一种基于Roberts机构的圆周导向机构，包括：外连接环；内连接环，所述内连接环和所述外连接环同轴；所述外连接环和内连接环之间分布有多个Roberts机构，所述多个Roberts机构将所述外连接环和所述内连接...
- 郭抗孙振陈华男倪明阳隋永新杨怀江
- 文献传递
