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MEMS中PZT铁电材料的雾化湿法刻蚀技术研究: 锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优异的压电性能，是微电子机械系统(MEMS)领域中一种重要的传感和驱动材料，在制备微传感器和微驱动器器件中具有广泛的应用。微图形化是PZT薄膜应用的关键技术之一，微图形的转化精度将直接影响到器件...; 金浙萍; 关键词：MEMS 微电子机械系统; 文献传递

PZT铁电薄膜的雾化湿法刻蚀技术研究被引量：2: 2006年; PZT薄膜的微图形化是制备基于PZT薄膜微传感器和微驱动器的关键技术之一。通过引入雾化技术,改进了传统的PZT薄膜湿法刻蚀方法,进一步减小了薄膜微图形的侧蚀比,提高了图形的转化精度。选用体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,对溶胶-凝胶法制备的1μm厚PZT薄膜作雾化湿法刻蚀,刻蚀速率为28 nm/s,侧蚀比为0.5∶1。对所得样品表面区域进行EDS分析表明,所得PZT薄膜图形表面无残留物,该工艺可用于MEMS领域中PZT薄膜的微图形化。; 金浙萍许晓慧吴建华吴亚雷褚家如; 关键词：PZT薄膜湿法刻蚀雾化

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金浙萍