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陈志锦: 作品数：26 被引量：64H指数：5; 供职机构：中国兵器工业第58研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划福建省科技计划重点项目更多>>; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程轻工技术与工程更多>>

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BP神经网络在双伺服同步运动系统中的应用被引量：2: 2011年; 针对传统的PID调节器不能解决双伺服同步运动系统中经常出现的超调和滞后问题,提出一种将传统PID和BP神经网络的PID调节器相结合的方式来控制两伺服电机轴的运动。其中,传统PID算法用于系统正常运行时的控制,而BP神经网络的PID算法用于调试过程中修改位置调整器和速度调节器的参数。该方案能实现轴B准确地跟踪轴A的速度和轨迹而运动。; 郭丽石航飞陈志锦杨凯李勇; 关键词：BP神经网络 PID

基于模型的光学校正系统的设计与实现被引量：7: 2004年; 为了使光刻结果更好地符合版图设计,保证在硅片上制造出的电路在功能上与设计电路一致,提出了一种对掩模进行自动补偿的系统性技术.根据光刻机和光刻胶特性,模拟了实际的光刻过程.校正处理的核心是基于模型的掩模图形优化模块,通过调用光刻模拟器直接对输入待校正的掩模图形进行优化.最后通过对掩模版图的验证,保证校正后的掩模图形满足成像图形的精度要求.应用实例证明,该系统准确实现了版图的精确设计与校正.; 王国雄严晓浪史峥陈志锦; 关键词：光刻模拟光学邻近校正移相掩模

智能化缝制设备电控平台的设计与实现: 随着人们生活水平的不断提高，对缝制产品外观提出更高的要求，用常规的手工作业方式难以达到所要求的精度，也难以实现大规模的工业化生产,缝制行业对智能化控制缝制设备的需求非常迫切。　　本文分析了传统智能缝制设备电控系统的特点，...; 陈志锦; 关键词：工业缝纫机控制系统功能模块

用于光刻模拟的快速计算稀疏空间点光强的方法被引量：1: 2003年; 使用光刻仿真工具模拟掩模图形到硅圆片的转移成像结果 ,可以分析集成电路在工艺规则下产品的可靠性和部分电学特性基于Gabor的“主波分解”方法 ,一个部分相干成像系统可以用相干成像系统的叠加来近似 ,再对空间图像进行高斯卷积来模拟光刻胶的实际扩散效应 ,从而获得一种精确、快速用于光刻模拟的稀疏空间点光强计算方法根据光学系统的传输交叉系数的特性。; 王国雄史峥严晓浪陈志锦高根生熊军; 关键词：光刻仿真集成电路可靠性电学特性矩阵分解

一种伺服驱动系统检测平台被引量：4: 2010年; 针对伺服系统的性能检测问题,提出了一种伺服驱动系统的检测手段,并搭建了检测平台。通过分析系统硬、软件的实现,并采用SWAI-SC系列驱动器、配套电机及SWAI-FA上位控制系统进行实验。结果表明,该方案合理、可行,与市面上应用的同类产品相比,该系统具有极高的性价比。; 杨凯石航飞陈志锦彭希文; 关键词：伺服驱动系统交流测功机能量回馈

交流伺服驱动功率回路参数选取方法被引量：3: 2014年; 为了正确选取交流伺服驱动器及其参数指标,提出一种交流伺服系统驱动回路功率参数设计及计算方法。介绍了交流伺服系统的硬件系统,通过计算整流器的容量、IPM的容量和滤波电容及释放电阻的容量,得到交流伺服驱动器功率参数,并进行实例分析,该方法已经实现批量生产。实际生产结果表明:该方法计算简单,实用性强。; 李勇陈志锦张森; 关键词：交流伺服功率参数设计计算方法

超深亚微米集成电路制造过程中光学邻近效应模拟的研究: 该文在建立光刻过程的模型中,通过对光刻机的工作原理研究,成功地建立了光刻机照明系统的模型,实现了对曝光过程的模拟,并提出了以双线性系统模型为基咄的查表法来加快空间点曝光的模拟;通过对光刻胶特性的研究,实现了高斯模型对光刻...; 陈志锦; 关键词：光刻移相掩模光学邻近效应集成电路; 文献传递

一种快速光刻模拟中二维成像轮廓提取的新方法被引量：15: 2002年; 在一种新颖的快速光刻模拟算法的基础上 ,提出了一种新的基于稀疏空间点光强计算的二维成像轮廓提取算法 .该算法能够根据版图特点合理选择采样线的位置 ,有效地确定轮廓线存在的范围 ,并根据在采样线上光强单调分布的特性来快速地搜寻轮廓点 .实验表明 ,这是一种快速高效的轮廓提取方案 ,能够适应光学邻近校正中巨大的运算量 .; 陈志锦史峥王国雄付萍严晓浪; 关键词：光刻光学邻近校正 OPC 集成电路

智能缝纫机控制系统的设计: 2015年; 针对智能缝纫机逐渐向高精度、高速度的专业化发展需求,设计了一款基于ARM+SOC智能缝纫机控制系统,该方案集成了系统电源、运动控制板、交流伺服驱动器、三轴合一步进驱动器、ARM主板等功能模块。该控制系统综合应用ARM、SOC等嵌入式技术,实现了对智能缝纫机的高速、高精度运动控制,具有扩张功能快捷、操作方便、性价比高等优点,主要技术指标达到国际先进水平。; 陈志锦赵毅忠马艳; 关键词：运动控制板 SOC 交流伺服驱动器步进驱动器

A Kernel-Based Convolution Method to Calculate Sparse Aerial Image Intensity for Lithography Simulation被引量：3: 2003年; Optical proximity correction (OPC) systems require an accurate and fast way to predict how patterns will be transferred to the wafer.Based on Gabor's 'reduction to principal waves',a partially coherent imaging system can be represented as a superposition of coherent imaging systems,so an accurate and fast sparse aerial image intensity calculation algorithm for lithography simulation is presented based on convolution kernels,which also include simulating the lateral diffusion and some mask processing effects via Gaussian filter.The simplicity of this model leads to substantial computational and analytical benefits.Efficiency of this method is also shown through simulation results.; 史峥王国雄严晓浪陈志锦高根生