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文献类型

  • 33篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 10篇机械工程
  • 8篇理学
  • 7篇电子电信

主题

  • 25篇光栅
  • 18篇干涉仪
  • 16篇光栅干涉仪
  • 11篇衍射
  • 11篇准直
  • 11篇外差
  • 9篇自准直
  • 8篇数据采集
  • 7篇数据采集和处...
  • 7篇激光
  • 6篇偏振
  • 6篇棱镜
  • 6篇光谱
  • 6篇光栅尺
  • 5篇入射
  • 4篇衍射元件
  • 4篇外差干涉
  • 4篇微位移
  • 4篇激光器
  • 4篇反射镜

机构

  • 35篇中国科学院上...
  • 1篇暨南大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 35篇韦春龙
  • 34篇周常河
  • 17篇卢炎聪
  • 10篇余俊杰
  • 10篇李树斌
  • 3篇王津

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2021
  • 6篇2019
  • 13篇2017
  • 7篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇1998
35 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种利用双光栅实现半导体激光光谱合束的装置
一种利用双光栅实现半导体激光光谱合束的装置,包括:半导体激光器光源、变换透镜、第一衍射光栅、第二衍射光栅和输出耦合镜;半导体激光器光源发出多束平行光,利用双光栅的衍射效应对光束进行二次色散,经过输出耦合镜的反馈后各单元的...
周常河周权韦春龙于娜卢炎聪
文献传递
大尺寸光栅的制造装置和制造方法
一种大光栅的制造装置和制造方法,该装置包括光源移动模块、基片移动模块和监测控制模块三部分。相比于以往的扫描光束法制造光栅的装置,该装置将光栅基片的二维扫描运动拆分,使用一维精密平移台分别驱动光源和光栅基片,免除了配备二维...
周常河向显嵩韦春龙李民康
文献传递
一种六自由度测量光栅尺
本发明一种六自由度测量光栅尺,包括:激光器,分束与准直模块,偏振分光器,反光模块,自准直模块,测量光栅,线偏振片、六个探测单元和信号采集及处理器。其单只读数头即可实现被测物体六自由度的高精度测量;通过有效的光路设计,可获...
韦春龙周常河
文献传递
基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪
一种基于平面镜的高光学细分光栅干涉仪,包括双频正交线偏振激光光源、偏振分束器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、标尺光栅,数据采集和处理及控制单元,由非偏振分束器、处于正...
卢炎聪周常河韦春龙余俊杰李树斌李民康李燕阳邱巨成
自准直光栅干涉仪的高光学细分结构
一种自准直光栅干涉仪的高光学细分结构,包括:标尺光栅、第一反射镜和第二反射镜;测量光束以近利特罗角首次入射到所述的标尺光栅,经标尺光栅衍射,衍射级次为-1的衍射光在第一平面内,该-1级次衍射光入射到所述的第一反射镜,经第...
卢炎聪周常河韦春龙余俊杰李树斌李民康李燕阳邱巨成
自准直光栅干涉仪高光学细分结构
一种自准直光栅干涉仪高光学细分结构,包括光栅标尺,第一直角棱镜、第二直角棱镜、第三直角棱镜、第四直角棱镜、第五直角棱镜、第六直角棱镜、第一反射镜,第二反射镜。本发明使光栅干涉仪的测量光束在高衍射效率的光栅标尺和反射镜之间...
卢炎聪周常河韦春龙余俊杰李树斌王津李燕阳李民康
文献传递
相移干涉术和数字光学轮廓仪研究
该文研究工作主要由两部分组成.第一部分是基于对相移干涉术的研究.首先着重研究了相移算法,以提高测试精度和对相移误差的不灵敏性,由此,提出和改进了六个相移算法.在此基础上,基于上面给出的相移初值的确定方法,结合迭代最小二乘...
韦春龙
关键词:相移干涉术表面粗糙度轮廓仪
利用镀反射膜的透射光栅实现两次衍射的光谱合束装置
一种利用镀反射膜的透射光栅实现两次衍射的光谱合束装置,包括半导体激光器光源,慢轴准直柱透镜,变换透镜,透射光栅,输出耦合镜。本发明利用背面镀反射膜的透射光栅作为衍射元件,即在光栅面的背面镀反射膜,使得入射光束可以两次经过...
于娜周常河韦春龙周权
利用光栅与反射元件实现两次衍射压缩谱宽的光谱合束装置
一种利用光栅和反射元件实现两次衍射压缩谱宽的半导体激光光谱合束装置,包括半导体激光器光源,慢轴准直柱透镜,变换透镜,光栅,反射元件,输出耦合镜。本发明利用单个光栅作为衍射元件,反射元件将第一次通过光栅的衍射光束反射,再次...
于娜周常河韦春龙周权
基于高密度光栅的高分辨率光栅干涉仪
一种基于高密度光栅的高分辨率光栅干涉仪,包括线偏振光源、偏振分束器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、数据采集和处理及控制单元,由非偏振分束器、处于正交双频线偏振光45度...
卢炎聪周常河韦春龙余俊杰李树斌李民康李燕阳
共4页<1234>
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