您的位置： 专家智库 > >

杜菲菲

作品数：5 被引量：11H指数：3
供职机构：东北大学材料与治金学院材料各向异性与织构工程教育部重点实验室更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金教育部科学技术研究重大项目更多>>
相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇结合力
  • 3篇溅射
  • 3篇反应磁控溅射
  • 3篇TIN薄膜
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇TIN/TI
  • 1篇调制
  • 1篇调制周期
  • 1篇多层膜
  • 1篇多层膜结构
  • 1篇硬质
  • 1篇力学性能
  • 1篇划痕
  • 1篇划痕法
  • 1篇TI
  • 1篇力学性
  • 1篇N
  • 1篇TIN

机构

  • 5篇东北大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 5篇肖娜
  • 5篇杜菲菲
  • 2篇杨波
  • 1篇邢韵

传媒

  • 2篇材料与冶金学...
  • 1篇黑龙江科技信...
  • 1篇理化检验（物...
  • 1篇中国表面工程

年份

  • 4篇2015
  • 1篇2014
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
TiN薄膜沉积条件对组织结构和结合力的影响被引量：2
2015年
在不同沉积时间和基板温度下,采用反应磁控溅射的方法在Ti6Al4V基板上沉积Ti N薄膜,溅射过程中固定溅射总压、溅射功率、氮氩流量比等沉积条件.利用XRD、SEM分别研究了薄膜的微观结构和表面、截面形貌,利用显微硬度仪和划痕仪分别测量了薄膜的硬度和膜基结合力.研究结果表明:随着沉积时间的增加,薄膜硬度和膜基结合力均有增大趋势;随着基板温度的升高,Ti N薄膜择优取向由(111)转向(200)晶面,表面形貌由三角锥转变为片层状,硬度和膜基结合力均呈现升高趋势.
肖娜杜菲菲邢韵
关键词：反应磁控溅射TIN薄膜结合力
硬质TiN薄膜与基体结合强度的研究现状
2015年
硬质Ti N薄膜在力学性能、耐腐蚀性能等诸多方面存在优势,是常用的合金表面改性材料之一。但是,长期使用过程中薄膜容易与基体脱离,关注并提高薄膜与基体之间的结合强度具有重要的现实意义。
肖娜杜菲菲
关键词：TI力学性能
调制比对TiN/Ti多层膜结构和力学性能的影响被引量：3
2014年
采用反应磁控溅射的方法在Ti6Al4V基板上沉积(TiN/Ti)n多层膜,交替沉积Ti层和TiN层,以通入/关闭氮气实现对TiN含量的控制.共溅射10层,每层TiN膜和Ti膜的厚度之和即调制周期不变,二者之间的厚度比即调制比分别为1∶9、1∶5、1∶3和1∶2.利用XRD、SEM分别研究了薄膜的微观结构和表面形貌,利用显微硬度仪和划痕仪测量了薄膜的硬度和膜基结合力.研究结果表明:随着调制比的增大,TiN(200)逐渐消失,出现Ti2N等新相;硬度、结合力有明显增大的趋势,与单层膜相比,多层膜的硬度和结合力最多分别增加250 HV和22 N.
肖娜杜菲菲杨波
关键词：反应磁控溅射TIN/TI结合力
合理使用划痕法及显微法测定TiN薄膜与基体结合力被引量：3
2015年
采用反应磁控溅射的方法在TC4钛合金基板上制备了TiN薄膜,利用划痕法测试了TiN薄膜与基体之间的结合力,并结合薄膜硬度与显微法判断的临界载荷进行了对比分析。结果表明:单纯依靠划痕法判断临界载荷较为局限,结合显微法同时考虑硬度等力学性能共同判断临界载荷,是更为科学合理的办法。
肖娜杜菲菲
关键词：划痕法
调制周期对TiN/Ti多层膜组织结构和结合力的影响被引量：3
2015年
为了阐明调制周期对薄膜微观组织及薄膜与基体结合力的影响,采用反应磁控溅射在Ti6Al4V基板上交替沉积了Ti层及TiN层制备了TiN/Ti多层膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度仪和划痕仪测量分析了薄膜的晶体结构、微观组织、硬度以及薄膜与基体之间的结合力。研究结果表明:TiN/Ti多层膜中均存在TiN,Ti和Ti2N 3种相。TiN/Ti多层膜均以柱状晶方式生长,在调制周期较大(5层)时,TiN和Ti层的界面清晰;随着调制周期的减小(层数增加),TiN和Ti层的界面逐渐消失。与单层TiN薄膜相比,多层TiN/Ti薄膜的硬度显著提高;但随着薄膜层数的增加,多层TiN/Ti薄膜硬度略微降低。当调制周期为80nm(30层)时,薄膜与基体的结合力明显提高,达到73N。
肖娜杜菲菲杨波
关键词：反应磁控溅射TIN/TI调制周期结合力
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0