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陈传钊

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 2篇单次
  • 2篇多功能化
  • 2篇油层
  • 2篇圆片
  • 2篇圆片级
  • 2篇热元件
  • 2篇自对准
  • 2篇自组装
  • 2篇自组装单层
  • 2篇微传感器
  • 2篇微流控
  • 2篇微流控芯片
  • 2篇绝缘
  • 2篇绝缘层
  • 2篇基底表面
  • 2篇加热元件
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇单层膜

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇李昕欣
  • 4篇陈传钊
  • 2篇许鹏程
  • 2篇陈滢

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
旁热式微传感器及其制造方法
本发明提供一种旁热式微传感器及其制造方法，包括：衬底，衬底内形成有凹槽；焊盘，位于凹槽外围的衬底表面；旁热式微传感器主体，位于凹槽的上方，包括：主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，旁式加热元件及敏感电极位于主...
陈滢李昕欣陈传钊
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旁热式微传感器及其制造方法
本发明提供一种旁热式微传感器及其制造方法，包括：衬底，衬底内形成有凹槽；焊盘，位于凹槽外围的衬底表面；旁热式微传感器主体，位于凹槽的上方，包括：主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，旁式加热元件及敏感电极位于主...
陈滢李昕欣陈传钊
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一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法
本发明提供一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法，包括步骤：1)提供一表面具有微通道和储液池的基底，生长第一自组装单层膜；2)提供一具有镂空结构的硬掩膜，对准后，利用紫外光穿过镂空结构辐照至第一自组装单层膜的局部区域...
李昕欣陈传钊许鹏程
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一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法
本发明提供一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法，包括步骤：1)提供一表面具有微通道和储液池的基底，生长第一自组装单层膜；2)提供一具有镂空结构的硬掩膜，对准后，利用紫外光穿过镂空结构辐照至第一自组装单层膜的局部区域...
李昕欣陈传钊许鹏程
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