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闫桂珍

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇谐振式加速度...
  • 2篇基底表面
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇硅
  • 2篇玻璃基
  • 1篇掩膜
  • 1篇谐振
  • 1篇谐振式
  • 1篇键合

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇刘云峰
  • 2篇赵淑明
  • 2篇董景新
  • 2篇闫桂珍

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅微谐振式加速度计的制备方法
本发明提供一种硅微谐振式加速度计的制备方法，包括：在一玻璃基底表面形成多个金属导线；在一硅片的第一表面形成一第一掩膜；在第一表面形成第二掩膜；刻蚀所述硅片的第一表面，形成一凹槽；去除所述第二掩膜并继续刻蚀所述硅片的第一表...
董景新赵淑明刘云峰闫桂珍
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硅微谐振式加速度计的制备方法
本发明提供一种硅微谐振式加速度计的制备方法，包括：在一玻璃基底表面形成多个金属导线；在一硅片的第一表面形成一第一掩膜；在第一表面形成第二掩膜；刻蚀所述硅片的第一表面，形成一凹槽；去除所述第二掩膜并继续刻蚀所述硅片的第一表...
董景新赵淑明刘云峰闫桂珍
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