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胡晨
作品数:
27
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
理学
电子电信
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合作作者
魏朝阳
中国科学院上海光学精密机械研究...
邵建达
中国科学院上海光学精密机械研究...
吴令奇
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘振通
中国科学院上海光学精密机械研究...
赵璇
中国科学院上海光学精密机械研究...
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大口径光栅基板运输上下机床装置
一种大口径光栅基板运输上下机床装置,装置包括液压升降车、移动式承载架、气动升降台、固定用锁定挡块、升降车台面上导轨、液压缸、小滚轮、固定销、气液增压缸、定位杆、升降车平台、大理石平台上轨道组件。液压升降车用于装载大口径光...
刘振通
魏朝阳
邵建达
洪志
胡晨
顾昊金
赵映辉
文献传递
基于计算全息图的大口径长焦距离轴抛物面反射镜测量
2024年
随着激光脉冲宽度极限的不断突破以及峰值功率的不断提高,脉宽压缩光栅的尺寸需要进一步增大。但反射式曝光系统所需大口径长焦距离轴镜的高精度加工检测成为制约大口径光栅制作的难题。采用计算全息补偿检测不需要复杂的设计和装调,但同样会引入非回转对称和复杂的二维投影畸变。传统的畸变校正方法由于精度受限或计算复杂不利于工程应用。提出基于数值计算的畸变校正方法,该方法具有简单通用易于编程的优点。利用800 mm口径折反镜在直径为18 m光学平台上搭建了面形检测光路,通过系统误差标定去除以及畸变校正的方法实现了高精度面形测量,经磁流变迭代加工后,面形精度RMS可收敛至0.013λ(λ=632.8 nm),这为后续大口径反射式曝光系统的建立奠定了基础。
胡晨
魏朝阳
魏朝阳
江国昌
顾昊金
邵建达
关键词:
计算全息图
超米级平面元件面形拼接检测装置
一种超米级平面元件面形拼接检测装置,包括:干涉仪、二维移动拼接平台、机械辅助搬运系统、光学平台、电气控制系统和计算机,通过机械辅助搬运系统将待测平面反射镜放置于二维移动拼接平台上,干涉仪的部分出射光经TF标准镜的后表面反...
刘世杰
白云波
鲁棋
张嘉怡
魏朝阳
胡晨
晋云霞
邵建达
离轴抛物面反射镜干涉测量面形投影畸变的修正方法
一种修正离轴抛物面反射镜干涉测量面形投影畸变的方法。本发明根据已知离轴抛物面母镜、离轴子镜与干涉仪三者之间的位置关系,通过坐标投影变换计算并结合相应的标定方法,可以简便快速的实现对离轴抛物面反射镜干涉测量投影畸变的修正,...
胡晨
邵建达
魏朝阳
吴令奇
顾昊金
文献传递
全频段高精度非球面光学元件的加工方法
本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法,该方法主要包括以下步骤:1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形;2)根据待加工面形误差数据,选择合适的柔性抛光小工具,结合该小工具的去除函数,确定数控机床的加工参数。3)...
邵建达
张逸中
魏朝阳
胡晨
张海超
文献传递
高精度曝光透镜的加工方法
一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法,该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理,并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波...
胡晨
邵建达
魏朝阳
吴令奇
顾昊金
文献传递
基于空间光调制器的点光源阵列发生器及其获得方法
本发明公开了一种基于空间光调制器的点光源阵列发生器包括激光器、扩束镜、准直镜、起偏器、空间光调制器、计算机和成像透镜;及点光源阵列获得方法,包括计算点光源阵列发生器所需离轴抛物面镜结构和光学参数,设计对应灰度图;将设计灰...
路晴
魏朝阳
邵建达
胡晨
文献传递
任意孔径形状高阶自由曲面波前的重构方法
一种任意孔径形状的高阶自由曲面波前重构方法。该方法将基于数值化正交多项式的模式法和基于多项式的有限差分法相结合,可实现任意孔径形状的复杂自由曲面波前重构。首先针对不同孔径形状,构造数值化正交多项式用以拟合波前斜率信息,得...
吴珍
魏朝阳
胡晨
万嵩林
文献传递
大型口径离轴非球面透镜的铣磨加工方法
一种大型口径离轴非球面透镜的铣磨加工方法,通过设计带角度的夹具装置,将待加工离轴非球面透镜沿其子午方向倾斜一定角度摆放在机床转台中心,降低待加工离轴非球面透镜的矢高变化率,在铣磨待加工离轴非球面透镜毛坯成最接近拟合球面的...
魏朝阳
赵璇
邵建达
张彦超
胡晨
文献传递
全频段高精度非球面光学元件的加工方法
本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法,该方法主要包括以下步骤:1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形;2)根据待加工面形误差数据,选择合适的柔性抛光小工具,结合该小工具的去除函数,确定数控机床的加工参数。3)...
邵建达
张逸中
魏朝阳
胡晨
张海超
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