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张春晓
作品数:
5
被引量:10
H指数:1
供职机构:
沈阳仪器仪表工艺研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘沁
沈阳仪器仪表工艺研究所
刘妍
沈阳仪器仪表工艺研究所
唐慧
沈阳仪器仪表工艺研究所
刘宏伟
沈阳仪器仪表工艺研究所
张世武
沈阳仪器仪表工艺研究所
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2001
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1999
1篇
1997
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5
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新型差压传感器的研制
提出了一种适合小型差压变送器使用的体积小,价格廉的新型差压传感器。并对它的工作原理、结构设计和相关的工艺技术进行了探讨。同时结合研究工作给出了零点,灵敏度补偿网络和主要技术指标。介绍了其良好的市场前景和广阔的应用领域。
刘沁
张春晓
唐慧
刘妍
关键词:
差压传感器
扩散硅
过载保护
扩散硅压力变送器的精密温度补偿
被引量:9
2001年
文中介绍了扩散硅压力传感器温度补偿的一种新方法 ,以及采用MAX1457精密补偿全温区 ( - 30~ +80℃ )压力变送器 ( 4~ 2 0mA输出 )的关键事项。
张春晓
刘沁
刘妍
李相建
关键词:
扩散硅压力传感器
变送器
温度补偿
智能扩散硅差压变送器的数字补偿技术
1999年
本文首先讨论了用特征函数法对扩散硅差压变送器进行数字补偿的技术,并详细介绍了利用线性插值法进行传感器信号处理的原理和方法。
张世武
吕忠钢
张春晓
关键词:
智能变送器
传感器
差压变送器
DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究
被引量:1
1997年
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封装,以保证硅压阻式传感器特有的高灵敏度、高精度特性。本文介绍了新近研制成的DFJ-Ⅲ型双面真空静电封接机的主要技术指标、封接机理、结构特点以及解决的主要关键技术。同时给出了用该设备封接的元件的性能测试指标。
刘沁
张春晓
吴雅翠
关键词:
硅压阻式
传感器
真空
压力传感器制造过程中的封装技术
技术是压力传感器制造中的关键技术,直接影响产品的电学、力学性能和成品率。封装技术包括材料、化学、机械、物理、工艺等多学科的知识。该文结合具体事例比较详尽的阐述扩散硅压力传感器制造中涉及的一些封装结构形式及工艺技术。
张春晓
刘沁
刘宏伟
关键词:
压力传感器
封装
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