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杨敏
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中国科学院半导体研究所
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合作作者
孙秀艳
中国科学院半导体研究所
苏艳梅
中国科学院半导体研究所
赵德刚
中国科学院半导体研究所
种明
中国科学院半导体研究所
孙捷
中国科学院半导体研究所
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一种AlGaN基双色日盲紫外探测器及制作方法
本发明公开了一种AlGaN基双色日盲紫外探测器及制作方法。该探测器包括:衬底;缓冲层;n-i-p-i-n单元,其包括缓冲层上依次生长的下n型掺杂层、下i型有源层、p型掺杂层、上i型有源层和上n型掺杂层;上台面,其是通过刻...
杨敏
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一种AlGaN基双色日盲紫外探测器及制作方法
本发明公开了一种AlGaN基双色日盲紫外探测器及制作方法。该探测器包括:衬底;缓冲层;n‑i‑p‑i‑n单元,其包括缓冲层上依次生长的下n型掺杂层、下i型有源层、p型掺杂层、上i型有源层和上n型掺杂层;上台面,其是通过刻...
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