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姜波

作品数：32 被引量：0H指数：0
供职机构：南京理工大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信交通运输工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 30篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 11篇陀螺
  • 10篇电极
  • 8篇陀螺仪
  • 7篇非制冷
  • 6篇电路
  • 5篇焦平面
  • 5篇红外
  • 5篇非制冷红外
  • 5篇MEMS陀螺
  • 4篇调制
  • 4篇锚点
  • 4篇晶圆
  • 4篇MEMS陀螺...
  • 3篇多量子阱
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇制冷
  • 3篇热电制冷
  • 3篇微机械陀螺
  • 3篇微机械陀螺仪

机构

  • 32篇南京理工大学

作者

  • 32篇姜波
  • 28篇苏岩
  • 21篇周同
  • 10篇张晶
  • 9篇何勇
  • 6篇方中
  • 5篇白宏阳
  • 2篇王开鹰
  • 2篇赵健
  • 2篇董涛
  • 2篇杨朝初
  • 2篇朱欣华
  • 1篇朱建良
  • 1篇汪晶晶
  • 1篇何伟

年份

  • 15篇2024
  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2014
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种外置电极的大电容、高Q值MEMS环形陀螺仪
本发明提供了一种外置电极的高Q值MEMS环形陀螺仪结构，包括环形件、设于环形件外侧并通过周向解耦梁连接的质量块，以及置于质量块内部的梳齿电极和位于环形件内侧的平板电极。该MEMS陀螺仪通过径向连接梁和连接到最外侧的锚点上...
姜波汤浩江苏岩
基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法
本发明公开了一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法，制备方法首先在硅基底上制备第一压阻传感器和第二压阻传感器；在硅基底上刻蚀出线圈槽、线圈引线槽；制备线圈、线圈引线；形成氧化绝缘层，为线圈导线、金属连接线互...
姜波彭明迪苏岩朱欣华
文献传递
一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪
本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪。包括辐条、环形件、柔性折叠梁、设于环形件外侧并通过周向柔性折叠梁连接的锚点，位于环形件内侧用于驱动该MEMS陀螺仪结构沿广义空间上相互成45°夹角的驱动...
姜波闫振磊苏岩
一种大电容八质量MEMS陀螺仪
本发明公开了一种大电容八质量MEMS陀螺仪，包括固定锚点、外部固定锚点外部固定锚点、敏感质量块、敏感质量耦合梁、外部解耦质量、内部解耦质量；八个外部固定锚点、八个外部解耦质量、八个敏感质量块、八个内部解耦质量分别围成等边...
黄深湖姜波周怡苏岩
应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法
本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法，步骤如下：将晶圆粘附于托盘上；将托盘吸附在晶圆减薄机载片台上，将载片台固定在减薄机主轴，将磨刀固定在磨刀轴，将晶圆上的硅衬底层减薄至预定厚度；将托盘倒置于晶圆...
何勇方中陈哲权苏岩姜波周同
文献传递
一种微半球谐振陀螺的环型二极管检测系统
本发明公开了一种微半球谐振陀螺的环形二极管检测系统，包括：C‑V转换电路模块，用于陀螺谐振子的检测振动信号放大；ADC模块，用于将放大后的模拟电信号转换为数字信号；数字锁相环电路，用于跟踪输出信号的相位和频率，产生两路相...
周同 翟宜辰苏岩 周怡姜波 王振军张晶白宏阳
非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱热敏材料
本发明公开了一种非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱结构并具有较高温度电阻系数的热敏材料。材料包括底部接触层、底部隔离层、硅锗/硅多量子阱结构、顶部隔离层和顶部接触层。当隔离层厚度为35~100？nm，硼粒子由接触...
董涛王开鹰姜波何勇杨朝初苏岩
文献传递
一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法
本发明公开一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法，结构主要包括：包括基板、薄膜、测温元件、面内热电制冷元件和芯片引脚；薄膜关于基板中心对称；测温元件左右对称地分布在薄膜内；面内热电制冷元件上下对称地跨置于薄膜与基...
王振军岳彦君姜波周同苏岩
一种芯片行波马达式陀螺寻北仪
本发明公开了一种芯片行波马达式陀螺寻北仪。本发明为分段式安装结构，基于MEMS芯片行波马达，通过机械结构嵌入式装配惯性测量单元、MEMS电容角位置传感器、综合驱动采样控制电路板，使整体旋转调制陀螺寻北仪内部紧密集成，体积...
周同谢锦宣苏岩周怡王振军姜波张晶白宏阳
一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪
本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺，整体结构为旋转对称布置，包括中间的多环结构，设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块，设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块，中间的多环...
姜波 李姣龙苏岩周同张晶
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