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王喜生
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2
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供职机构:
西南应用磁学研究所
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合作作者
李晓静
西南应用磁学研究所
黄豹
西南应用磁学研究所
倪经
西南应用磁学研究所
邹延珂
西南应用磁学研究所
陈彦
西南应用磁学研究所
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作者
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周俊
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年份
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2015
1篇
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一种基于中性溶液的铁氧体基片的清洗工艺方法
本发明涉及微加工领域,其公开了一种基于中性溶液的铁氧体基片的清洗工艺,包括包括如下步骤:打磨基片侧边和非曝光面;将基片平放于器皿中,使用清洗剂在超声波清洗机对基片进行超声处理;将基片放于陶瓷坩埚中,用热水冲洗基片;对基片...
邹延珂
陈彦
王喜生
倪经
周俊
黄豹
曹照亮
李晓静
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一种基于中性溶液的铁氧体基片的清洗工艺方法
本发明涉及微加工领域,其公开了一种基于中性溶液的铁氧体基片的清洗工艺,包括如下步骤:打磨基片侧边和非曝光面;将基片平放于器皿中,使用清洗剂在超声波清洗机对基片进行超声处理;将基片放于陶瓷坩埚中,用热水冲洗基片;对基片进行...
邹延珂
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倪经
周俊
黄豹
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