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范云洁
作品数:
4
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供职机构:
中国科学院电子学研究所
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合作作者
何文涛
中国科学院电子学研究所
邓涛
中国科学院电子学研究所
王军波
中国科学院电子学研究所
陈德勇
中国科学院电子学研究所
王鹏
中国科学院电子学研究所
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作者
4篇
王鹏
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陈德勇
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王军波
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邓涛
4篇
范云洁
4篇
何文涛
年份
2篇
2015
2篇
2013
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基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇
邓涛
王军波
何文涛
范云洁
王鹏
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
王军波
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基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成,电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技术制造,可方便地改...
陈德勇
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基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法,所述电化学地震检波器包括:固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心;所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间,且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封;所述弹性膜...
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